☆经营分析☆ ◇688785 恒运昌 更新日期：2026-03-23◇
★本栏包括 【1.主营业务】【2.主营构成分析】【3.经营投资】【4.参股控股企业经营状况】
【1.主营业务】
等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的
研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，
围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
【2.主营构成分析】
【2025年中期概况】
┌────────────┬─────┬─────┬───┬──────┐
｜项目名称 ｜营业收入( ｜营业利润( ｜毛利率｜占主营业务收｜
｜ ｜万元) ｜万元) ｜(%) ｜入比例(%) ｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜自研产品 ｜ 25787.44｜ 14094.35｜ 54.66｜ 25.10｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 23272.97｜ --｜ -｜ 22.65｜
｜源系统 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 12170.77｜ --｜ -｜ 11.85｜
｜源系统-等离子体射频电源 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 11102.19｜ --｜ -｜ 10.81｜
｜源系统-匹配器 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 7243.38｜ --｜ -｜ 7.05｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜Aspen ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 6098.52｜ --｜ -｜ 5.94｜
｜源系统-匹配器-Bestda ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 4744.22｜ --｜ -｜ 4.62｜
｜源系统-匹配器-Basalt ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜引进产品 ｜ 4457.92｜ 697.53｜ 15.65｜ 4.34｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 4432.74｜ --｜ -｜ 4.31｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜Bestda ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-其他 ｜ 2514.47｜ --｜ -｜ 2.45｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 494.65｜ --｜ -｜ 0.48｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜CSL ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 259.45｜ --｜ -｜ 0.25｜
｜源系统-匹配器-CSL ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜技术服务 ｜ 160.27｜ 109.44｜ 68.29｜ 0.16｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜境内地区 ｜ 30375.76｜ 14884.85｜ 49.00｜ 49.98｜
｜华东 ｜ 19285.70｜ --｜ -｜ 31.73｜
｜东北 ｜ 3587.67｜ --｜ -｜ 5.90｜
｜华中 ｜ 3263.91｜ --｜ -｜ 5.37｜
｜华北 ｜ 2423.85｜ --｜ -｜ 3.99｜
｜华南 ｜ 1773.17｜ --｜ -｜ 2.92｜
｜西南 ｜ 39.24｜ --｜ -｜ 0.06｜
｜境外地区 ｜ 29.88｜ 16.47｜ 55.14｜ 0.05｜
｜西北 ｜ 2.22｜ --｜ -｜ 0.00｜
└────────────┴─────┴─────┴───┴──────┘
【2024年年度概况】
┌────────────┬─────┬─────┬───┬──────┐
｜项目名称 ｜营业收入( ｜营业利润( ｜毛利率｜占主营业务收｜
｜ ｜万元) ｜万元) ｜(%) ｜入比例(%) ｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜自研产品 ｜ 45608.78｜ 24833.77｜ 54.45｜ 24.68｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 42561.95｜ --｜ -｜ 23.03｜
｜源系统 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 21568.56｜ --｜ -｜ 11.67｜
｜源系统-匹配器 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 20993.39｜ --｜ -｜ 11.36｜
｜源系统-等离子体射频电源 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 12060.02｜ --｜ -｜ 6.53｜
｜源系统-匹配器-Bestda ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 10661.43｜ --｜ -｜ 5.77｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜Aspen ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 8978.45｜ --｜ -｜ 4.86｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜Bestda ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 8683.81｜ --｜ -｜ 4.70｜
｜源系统-匹配器-Basalt ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜引进产品 ｜ 8181.23｜ 1237.23｜ 15.12｜ 4.43｜
｜自研产品-其他 ｜ 3046.83｜ --｜ -｜ 1.65｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 1353.52｜ --｜ -｜ 0.73｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜CSL ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 824.72｜ --｜ -｜ 0.45｜
｜源系统-匹配器-CSL ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜技术服务 ｜ 289.03｜ 161.50｜ 55.88｜ 0.16｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜境内地区 ｜ 53957.83｜ 26177.31｜ 48.51｜ 49.94｜
｜华东 ｜ 32282.74｜ --｜ -｜ 29.88｜
｜东北 ｜ 10133.82｜ --｜ -｜ 9.38｜
｜华中 ｜ 6375.40｜ --｜ -｜ 5.90｜
｜华北 ｜ 2893.32｜ --｜ -｜ 2.68｜
｜华南 ｜ 2235.05｜ --｜ -｜ 2.07｜
｜境外地区 ｜ 121.20｜ 55.19｜ 45.54｜ 0.11｜
｜西南 ｜ 37.34｜ --｜ -｜ 0.03｜
｜西北 ｜ 0.18｜ --｜ -｜ 0.00｜
└────────────┴─────┴─────┴───┴──────┘
【2023年年度概况】
┌────────────┬─────┬─────┬───┬──────┐
｜项目名称 ｜营业收入( ｜营业利润( ｜毛利率｜占主营业务收｜
｜ ｜万元) ｜万元) ｜(%) ｜入比例(%) ｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜自研产品 ｜ 23911.70｜ 13050.69｜ 54.58｜ 23.98｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 21640.56｜ --｜ -｜ 21.70｜
｜源系统 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 11782.61｜ --｜ -｜ 11.82｜
｜源系统-匹配器 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 9857.95｜ --｜ -｜ 9.89｜
｜源系统-等离子体射频电源 ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜引进产品 ｜ 8231.25｜ 1635.78｜ 19.87｜ 8.25｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 6902.30｜ --｜ -｜ 6.92｜
｜源系统-匹配器-Bestda ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 4917.96｜ --｜ -｜ 4.93｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜Bestda ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 3672.63｜ --｜ -｜ 3.68｜
｜源系统-匹配器-Basalt ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 2477.55｜ --｜ -｜ 2.48｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜CSL ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 2462.45｜ --｜ -｜ 2.47｜
｜源系统-等离子体射频电源-｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜Aspen ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜自研产品-其他 ｜ 2271.14｜ --｜ -｜ 2.28｜
｜自研产品-等离子体射频电 ｜ 1207.68｜ --｜ -｜ 1.21｜
｜源系统-匹配器-CSL ｜ ｜ ｜ ｜ ｜
｜技术服务 ｜ 383.90｜ 230.21｜ 59.97｜ 0.38｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜境内地区 ｜ 32422.16｜ 14866.66｜ 45.85｜ 49.92｜
｜华东 ｜ 14548.96｜ --｜ -｜ 22.40｜
｜东北 ｜ 7670.50｜ --｜ -｜ 11.81｜
｜华中 ｜ 6859.96｜ --｜ -｜ 10.56｜
｜华南 ｜ 2742.55｜ --｜ -｜ 4.22｜
｜华北 ｜ 582.43｜ --｜ -｜ 0.90｜
｜境外地区 ｜ 104.69｜ 50.01｜ 47.78｜ 0.16｜
｜西南 ｜ 16.64｜ --｜ -｜ 0.03｜
｜西北 ｜ 1.12｜ --｜ -｜ 0.00｜
└────────────┴─────┴─────┴───┴──────┘
【3.经营投资】
【2025-06-30】
一、营业收入构成分析
1、营业收入构成分析报告期内，公司营业收入均为主营业务收入，主营业务收入
金额分别为15,815.80万元、32,526.85万元、54,079.03万元及30,405.63万元，20
22-2024年营业收入复合增速为84.91%，实现高速增长。
2、主营业务收入构成及变动分析报告期内，公司主营业务收入包括自研产品、引
进产品和技术服务收入。
（1）自研产品
报告期内，自研产品收入金额分别为10,440.95万元、23,911.70万元、45,608.78
万元及25,787.44万元，占主营业务收入比例分别为66.02%、73.51%、84.34%及84.
81%，是公司主要收入来源且收入占比逐年提升。公司的自研产品主要为等离子体
射频电源系统。
1）等离子体射频电源系统报告期内，公司自研产品中等离子体射频电源系统收入
分别为9,879.50万元、21,640.56万元、42,561.95万元及23,272.97万元，呈快速
增长趋势，主要因为：
①等离子体射频电源系统的市场规模日益增长一是下游薄膜沉积、刻蚀等半导体设
备需求增加，带动配套等离子体射频电源系统需求的增长。随着半导体行业整体景
气度的提升，全球半导体设备市场呈现快速增长态势，拉动市场对薄膜沉积、刻蚀
等半导体设备的需求增加。根据SEMI统计，2024年全球半导体设备市场规模达1,17
1亿美元，2012至2024年间增长了802亿美元，年复合增长率达到10.10%，保持高速
增长趋势。SEMI预计，2025年将增长至1,255亿美元，2026年有望增长至1,381亿美
元，持续刷新历史新高。同时，中国本土晶圆厂建厂的热潮也一同引领中国半导体
设备的需求增长。根据SEMI统计数据显示，2012至2024年，中国大陆半导体设备销
售额增长了471亿美元，年复合增长率高达28.27%，远超同期全球增幅，2024年，
中国大陆半导体设备销售额496亿美元，同比增长35%，占全球市场比例达42%。根
据SEMI统计数据显示，2020年中国大陆凭借187亿美元销售金额首次成为全球半导
体设备第一大市场，并开始连续多年保持第一。二是半导体工艺和芯片结构日趋复
杂，对等离子体射频电源系统的技术要求显著提升，进而提高了该零部件在半导体
制造设备中的价值占比。随着半导体制程的持续演进，薄膜沉积、刻蚀、离子注入
、清洗去胶、键合等半导体工艺的复杂度和精细度日益提高，对等离子体射频电源
系统在可靠性、稳定性、高效功率输送功能、物理尺寸等方面不断提出更高、更复
杂的要求。因此日益增长的半导体设备需求和对等离子体射频电源系统的工艺要求
，带动等离子体射频电源系统的市场规模随之增长。
②等离子体射频电源系统国产化率极低，国产替代迫在眉睫，国产化进程持续加速
等离子体射频电源系统作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等半导体
设备的核心零部件，长期以来主要由美国厂商MKS和AE主导，国产化率极低。根据
弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化
率不足12%。在当前复杂的国际地缘政治形势下，欧美等国对我国半导体产业的限
制加剧，我国半导体产业的供应链安全面临严峻挑战，半导体设备厂商对于零部件
自主可控的要求愈发紧迫，伴随国产替代的整体趋势，国产等离子体射频电源系统
市场快速发展。
③公司把握机遇，不断扩大与行业头部客户的合作，在半导体级等离子体射频电源
系统领域占据领先地位公司深耕等离子体射频电源系统行业，积极响应半导体芯片
制造工艺中对等离子体射频电源系统快、准、稳的核心需求。在我国半导体政策聚
焦产业自主可控目标的背景下，打破国际巨头MKS和AE在国内长期的垄断格局。公
司基于自身十年技术沉淀，先后推出三代等离子体射频电源系统产品系列，并不断
通过拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米等国内半导体设备头部厂商的验证
并实现批量交付。公司凭借多年以来产品和技术的优势积累，在国产设备的关键细
分领域持续扩大市场占有率，实现对进口零部件的国产替代，产品质量和性能得到
了客户的高度认可，建立了良好的口碑，在半导体级等离子体射频电源系统领域占
据领先地位。等离子体射频电源系统包括等离子体射频电源和匹配器。报告期内，
公司等离子体射频电源、匹配器销售数量及均价情况如下：报告期内，公司自研产
品中等离子体射频电源系统的均价持续上升，主要因为公司迭代产品结构的变化。
公司等离子体射频电源系统不断迭代和提升性能，先后迭代推出CSL、Bestda、Asp
en/Basalt三代等离子体射频电源系统产品系列，产品性能逐代提升，更加精准地
满足芯片制造工艺对等离子体射频电源系统快速、精确、稳定的要求。公司最新一
代产品Aspen/Basalt系列等离子体射频电源系统，已具备与MKS、AE次新一代产品
同等的性能指标，可应用于7-14纳米先进制程，实现对美系巨头产品的国产替代，
产品单价也相对较高。随着公司最新一代产品销售收入占比逐年提高，公司等离子
体射频电源系统的均价持续上升。
2）其他公司自研产品中其他产品主要包括：
①电源类产品：等离子体直流电源等；
②等离子体激发装置：远程等离子体源、射频离子源；
③配件：滤波器、阻抗调整器等。报告期内，公司自研产品不断通过下游客户验证
，产品质量和性能得到了客户的高度认可，相关产品收入于报告期内持续提升。报
告期各期收入分别为561.44万元、2,271.14万元、3,046.83万元及2,514.47万元，
占自研产品收入比重分别为5.38%、9.50%、6.68%及9.75%。
（2）引进产品
公司基于等离子体发生条件和反应腔真空环境的实际需求，引进用于获得和维持真
空环境的真空泵、用于流体精确控制的质量流量计以及用于真空镀膜装备的等离子
体直流电源等核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案，打造
核心零部件供应平台。报告期内，公司引进产品收入分别为5,229.24万元、8,231.
25万元、8,181.23万元及4,457.92万元，占主营业务收入比重分别为33.06%、25.3
1%、15.13%及14.66%，占比逐年下降。
（3）技术服务
公司技术服务主要系为晶圆厂提供等离子体射频电源系统原位替换及维修服务。报
告期各期收入金额分别为145.61万元、383.90万元、289.03万元及160.27万元，占
主营业务收入比重分别为0.92%、1.18%、0.53%和0.53%。
3、主营业务收入分销售区域分析
报告期内，公司业务主要集中在境内，且以华东和东北地区为主，与下游产能区域
分布基本一致，其中华东地区销售收入占主营业务比例分别为12.69%、44.73%、59
.70%及63.43%，东北地区销售收入占主营业务比例分别为44.90%、23.58%、18.74%
及11.80%。报告期内公司于华东地区的销售收入及占比提升明显，一方面系拓荆科
技等客户在华东区域产能扩张，另一方面系公司产品陆续通过中微公司、微导纳米
等客户的验证，并迅速起量销售。
4、主营业务收入分季度分析
报告期内，发行人主营业务不存在明显的季节性波动情况。报告期各期，公司各季
度主营业务收入占比主要随着下游行业需求和客户产能扩张节奏变化而波动。2023
年第四季度公司收入占比相对较高，主要因为当期下游晶圆厂快速扩张，半导体设
备需求增加，因此公司收入规模于该季度大幅提升，占比较高。
【4.参股控股企业经营状况】
【截止日期】2026-01-08
┌─────────────┬───────┬──────┬──────┐
｜企业名称 ｜注册资本(万元)｜净利润(万元)｜总资产(万元)｜
├─────────────┼───────┼──────┼──────┤
｜CSL Vacuum Science and Tec｜ 25.00｜ -｜ -｜
｜hnology GmbH ｜ ｜ ｜ ｜
｜恒运昌真空技术(沈阳)有限公｜ 10888.00｜ -268.91｜ 7892.18｜
｜司 ｜ ｜ ｜ ｜
｜深圳市百世达半导体设备有限｜ 100.00｜ 1.68｜ 347.69｜
｜公司 ｜ ｜ ｜ ｜
｜恒运昌京昇半导体科技(北京)｜ 1000.00｜ -125.18｜ 645.47｜
｜有限公司 ｜ ｜ ｜ ｜
└─────────────┴───────┴──────┴──────┘
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