☆经营分析☆ ◇688037 芯源微 更新日期：2025-06-21◇
★本栏包括 【1.主营业务】【2.主营构成分析】【3.经营投资】【4.参股控股企业经营状况】
【1.主营业务】
半导体专用设备的研发、生产和销售。
【2.主营构成分析】
【2024年年度概况】
┌────────────┬─────┬─────┬───┬──────┐
｜项目名称 ｜营业收入( ｜营业利润( ｜毛利率｜占主营业务收｜
｜ ｜万元) ｜万元) ｜(%) ｜入比例(%) ｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜半导体设备行业 ｜ 170954.25｜ 62997.74｜ 36.85｜ 97.49｜
｜其他业务 ｜ 4406.34｜ 3067.84｜ 69.62｜ 2.51｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜光刻工序涂胶显影设备 ｜ 104979.32｜ 36538.13｜ 34.81｜ 59.86｜
｜单片式湿法设备 ｜ 64461.62｜ 25270.09｜ 39.20｜ 36.76｜
｜其他业务 ｜ 4406.34｜ 3067.84｜ 69.62｜ 2.51｜
｜其它设备 ｜ 1513.31｜ 1189.51｜ 78.60｜ 0.86｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜大陆地区 ｜ 160141.64｜ 57136.14｜ 35.68｜ 91.32｜
｜海外地区 ｜ 5549.74｜ 3222.21｜ 58.06｜ 3.16｜
｜港澳台地区 ｜ 5262.87｜ 2639.38｜ 50.15｜ 3.00｜
｜其他业务 ｜ 4406.34｜ 3067.84｜ 69.62｜ 2.51｜
└────────────┴─────┴─────┴───┴──────┘
【2023年年度概况】
┌────────────┬─────┬─────┬───┬──────┐
｜项目名称 ｜营业收入( ｜营业利润( ｜毛利率｜占主营业务收｜
｜ ｜万元) ｜万元) ｜(%) ｜入比例(%) ｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜半导体设备行业 ｜ 167937.60｜ 70260.61｜ 41.84｜ 97.81｜
｜其他业务 ｜ 3759.39｜ 2758.24｜ 73.37｜ 2.19｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜光刻工序涂胶显影设备 ｜ 106603.45｜ 41402.59｜ 38.84｜ 62.09｜
｜单片式湿法设备 ｜ 60003.80｜ 27822.10｜ 46.37｜ 34.95｜
｜其他业务 ｜ 3759.39｜ 2758.24｜ 73.37｜ 2.19｜
｜其它设备 ｜ 1330.35｜ 1035.92｜ 77.87｜ 0.77｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜大陆地区 ｜ 166063.85｜ 69221.59｜ 41.68｜ 96.72｜
｜其他业务 ｜ 3759.39｜ 2758.24｜ 73.37｜ 2.19｜
｜港澳台地区 ｜ 1873.75｜ 1039.03｜ 55.45｜ 1.09｜
└────────────┴─────┴─────┴───┴──────┘
【2022年年度概况】
┌────────────┬─────┬─────┬───┬──────┐
｜项目名称 ｜营业收入( ｜营业利润( ｜毛利率｜占主营业务收｜
｜ ｜万元) ｜万元) ｜(%) ｜入比例(%) ｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜半导体设备行业 ｜ 136025.88｜ 51487.19｜ 37.85｜ 98.22｜
｜其他业务 ｜ 2460.83｜ 1687.84｜ 68.59｜ 1.78｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜光刻工序涂胶显影设备 ｜ 75710.40｜ 26236.81｜ 34.65｜ 54.67｜
｜单片式湿法设备 ｜ 55003.10｜ 21543.10｜ 39.17｜ 39.72｜
｜其他设备 ｜ 5312.38｜ 3707.28｜ 69.79｜ 3.84｜
｜其他业务 ｜ 2460.83｜ 1687.84｜ 68.59｜ 1.78｜
├────────────┼─────┼─────┼───┼──────┤
｜大陆地区 ｜ 134663.58｜ 50855.93｜ 37.77｜ 97.24｜
｜其他业务 ｜ 2460.83｜ 1687.84｜ 68.59｜ 1.78｜
｜港澳台地区 ｜ 1362.30｜ 631.26｜ 46.34｜ 0.98｜
└────────────┴─────┴─────┴───┴──────┘
【3.经营投资】
【2024-12-31】
一、经营情况讨论与分析
半导体被称为制造业皇冠上的明珠，半导体产业是信息技术产业的核心，是支撑经
济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，其技术水平和发展规
模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。作为“工业粮食”
,半导体芯片被广泛地应用于计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子、物联网
等产业，是绝大多数电子设备的核心组成部分。根据国际货币基金组织测算，每1
美元半导体芯片的产值可带动相关电子信息产业10美元产值，并带来100美元的GDP
，这种100倍价值链的放大效应奠定了芯片行业在国民经济中的重要地位。公司所
属的半导体设备行业是半导体产业链的上游关键支撑环节。半导体行业历来遵循着
“一代产品、一代工艺、一代设备”的发展规律，晶圆制造作为产业链的核心环节
，需要超前于下游应用开发新一代工艺，而半导体设备则要超前于晶圆制造开发新
一代设备。半导体设备行业是半导体制造的基石，支撑起了广阔的电子信息产业，
是半导体行业的基础和核心。
从全球半导体设备行业来看，随着下游电子、汽车、通信等行业需求的稳步增长，
以及人工智能、云计算及大数据等新兴领域的快速发展，集成电路产业面临着新型
芯片带来的产能扩张需求，为半导体设备行业带来广阔的市场空间。2025年4月，S
EMI在其发布的《全球半导体设备市场报告》中指出，全球半导体制造设备出货金
额2024年达到1171亿美元，相较2023年的1063亿美元增长10%。全球前端半导体设
备市场实现了显著增长，这一增长主要得益于在先进逻辑、成熟逻辑、先进封装和
高带宽存储器（HBM）产能扩张方面的投资增加。SEMI表示，从2025年到2027年，
全球300mm晶圆厂设备支出预计将达到创纪录的4000亿美元，包括人工智能应用的
前沿技术和由汽车及物联网应用驱动的成熟技术带来的全球芯片需求正在持续推动
半导体设备的资本开支。
为推动半导体产业发展，增强产业创新能力和国际竞争力，进一步促进国民经济持
续、快速、健康发展，我国先后出台《科技部重点支持集成电路重点专项》《集成
电路产业“十三五”发展规划》《国务院关于印发新时期促进集成电路产业和软件
产业高质量发展若干政策的通知》《“十四五”国家信息化规划》等鼓励和支持半
导体设备产业发展的政策，为我国半导体设备行业发展营造了良好的政策环境。国
家战略级政策支持为国产半导体产业的发展开辟了历史性机遇。近年来，集成电路
产业国际产能不断向我国大陆地区转移，据SEMI统计，2016年-2023年，我国大陆
的半导体设备市场规模从64.60亿美元增长至366亿美元，近七年来年均复合增长率
达到28.11%，远高于全球市场增速，2024年中国大陆半导体设备市场达到创纪录的
495亿美元，同比增长35.25%。根据SEMI数据，预计到2027年，中国大陆将持续保
持其作为全球300mm设备支出第一的地位，在政府激励措施和芯片国产化政策的推
动下，中国将继续引领全球晶圆厂设备支出。
（一）报告期内主要经营情况
1、主要经营数据
报告期内，公司继续提升研发力度，在前道涂胶显影、前道化学清洗、后道键合品
类等多个业务板块持续加大研发投入，产品综合竞争力持续提升。2024年公司研发
费用达到2.97亿元，同比增长49.93%，增长约1亿元。报告期内，公司实现营业收
入17.54亿元，同比增长2.13%，营业收入保持增长；归属于上市公司股东的净利润
2.03亿元，同比降低19.08%；归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润0.
73亿元，同比降低60.83%，由于研发费用、人员成本增长等原因，报告期内净利润
出现阶段性下滑。截至报告期末，公司资产总额55.97亿元，同比增长30.11%，归
属于上市公司股东的净资产26.91亿元，同比增长13.05%，公司资产规模持续扩张
，资产质量良好，财务状况稳剑
2、新签订单情况
报告期内，公司新签订单约24亿元（含Demo及LOI，含税），同比增长约10%，在产
品结构方面，报告期内前道涂胶显影机产品持续获得国内头部逻辑、存储、功率客
户订单，客户认可度不断提升；公司战略性新产品前道化学清洗机签单表现优秀，
高温SPM机台已通过国内领先逻辑客户工艺验证，成功打破国外垄断，获得国内客
户高度认可，目前公司化学清洗机已获得国内多家大客户订单及验证性订单；前道
物理清洗机成功获得国内领先逻辑客户批量订单，进一步夯实细分市场龙头地位；
受益于后道先进封装行业周期性复苏，后道涂胶显影机及单片式湿法设备签单同比
实现良好增长，持续巩固国内领先优势，报告期内，继续获得海外封装龙头客户批
量重复性订单；新产品临时键合机、解键合机、Frame清洗机等已顺利通过多家客
户验证，开始进入逐步放量阶段。
（二）报告期内重点工作开展情况
1、产品销售情况
（1）前道涂胶显影设备
全球前道涂胶显影设备市场长期被日本TEL高度垄断，目前国产化率仍然较低。前
道涂胶显影设备是半导体产线上唯一与光刻机联机作业的工艺设备，是晶圆生产中
的关键核心设备。近年来，随着国际贸易不确定性的增强，前道涂胶显影设备的国
产化替代得到了下游客户的高度重视和大力支持。公司作为目前国内唯一可以提供
量产型前道涂胶显影机的厂商，经过长期的研发、多轮次验证及量产应用，目前已
成功推出了包括offine、I-ine、KrF及ArF浸没式在内的多种型号产品，成功在下
游客户端抢占一席之地。
报告期内，公司前道涂胶显影产品成功获得国内头部逻辑、存储、功率客户订单，
包括SOC、SOD、NTD在内的高端offine机台取得快速突破，I-ine、KrF机台在多家
客户端量产跑片数据良好，客户认可度持续提升。截至报告期末，公司正在不同客
户端积极推进ArF浸没式高产能涂胶显影机的导入及验证工作。
（2）前道物理清洗设备
公司前道物理清洗机自2018年发布以来，凭借其高产能、高颗粒去除能力、高性价
比等优势受到下游客户的广泛认可，产品迅速打破国外垄断并确立了市场领先优势
，目前已广泛应用于中芯国际、上海华力、青岛芯恩、广州粤芯、上海积塔、厦门
士兰等一线大厂，已成为国内逻辑、功率器件客户主力量产机型。
近年来，公司前道物理清洗机在高产能清洗架构、26nm颗粒去除能力等方面实现了
进一步的提升，产品竞争力不断增强。报告期内，公司前道物理清洗机获得国内领
先逻辑客户批量订单，进一步夯实了公司在国内市场的龙头地位。
（3）后道先进封装设备
公司后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量
应用于台积电、盛合晶微、长电科技、华天科技、通富微电、珠海天成等海内外一
线大厂，已经成为众多知名客户的首选品牌。
2024年，国内后道封测市场呈复苏回暖态势，下游市场景气度良好，客户下单意愿
积极，公司后道涂胶显影机、单片式湿法设备获得国内多家客户批量重复性订单，
签单同比实现良好增长。公司深耕先进封装领域多年，部分技术已达到国际领先水
平，具有较强的全球竞争力，已获得多家海外客户的持续认可，报告期内，公司成
功获得海外封装龙头客户批量重复性订单。
（4）化合物等小尺寸设备
公司化合物等小尺寸设备近年来已作为主流机型批量应用于三安集成、华灿光电、
乾照光电、北京赛微等国内一线大厂，已经成为客户端的主力量产设备。报告期内
，受下游市场景气度影响，该细分领域销售额有所下滑。
2、新产品产业化进展
（1）前道化学清洗机
公司战略性新产品前道化学清洗机KS-CM300/200于2024年3月正式发布，机台具有
高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项核心优势，机台搭载独立开发
的新一代高清洗效率低损伤射流喷嘴，洁净度已达到先进制程所需水平，适用于沉
积前清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗、CMP后清洗等多种前段工艺和后段工艺
清洗进程，可适配高温SPM工艺，整体工艺覆盖率达80%以上。
高温SPM清洗工艺被业界公认为28nm/14nm制程性能要求最高的工艺之一，也是业内
最具难度和挑战的湿法工艺。目前高温SPM设备市场被日本DNS高度垄断，客户亟需
国产替代。高温SPM设备工艺复杂，客户最关心的三大核心指标为26nm颗粒控制、
刻蚀率及均一性、金属离子控制，公司高温SPM机台经过客户端数月的量产跑片监
控，在三大核心指标上可对标海外龙头。目前该机台已成功通过客户工艺验证，成
功打破国外垄断，获得国内客户高度认可，目前公司化学清洗机已获得国内多家大
客户订单及验证性订单。
前道清洗类设备标准化程度相对较高，通过验证后有望快速提升市场份额。公司于
2018年发布前道物理清洗设备后，在两年的时间内迅速成为了客户端主力量产机型
。公司将借助前道物理清洗设备成功的市场经验，力争在前道化学清洗赛道实现跨
越式发展，未来与前道涂胶显影设备一起形成两大主打优势产品，为公司长期发展
提供稳定的业绩增长点。
（2）临时键合机、解键合机
目前，国内高精度临时键合设备市场长期被海外厂商高度垄断，针对Chipet技术解
决方案，公司提前布局自主研发的全自动临时键合及解键合机，可应用于InFO、Co
WoS、HBM等2.5D、3D技术路线产品，兼容国内外主流胶材工艺，能够适配60微米及
以上超大膜厚涂胶需求，可实现高对准精度、高真空度环境、高温高压力键合工艺
，键合后产品TTV及翘曲度表现优异，对应开发的机械、激光解键合技术，可覆盖
不同客户产品及工艺需求，为客户提供稳定高效的临时键合、解键合全流程解决方
案。
自2021年起，公司即获得国内领先存储客户支持，和客户紧密合作，前瞻性研发临
时键合、解键合设备，是国内最早进入该领域的设备厂商。目前公司临时键合机、
解键合机整体技术已达到国际先进水平。报告期内，该系列设备成功通过多家客户
验证，并陆续获得国内多家客户订单，进入逐步放量阶段，目前在手订单已近20台
。此外，公司在2.5D/3D先进封装领域布局的新产品Frame清洗设备，也已成功通过
客户验证，进入小批量销售阶段。
（3）SiC划裂片一体机
2024年3月，公司发布了全自动SiC划裂片一体机KS-S200-2H1L，该款机台由公司日
本子公司与合作伙伴联合研发，借助独有的SnB划裂片技术，可以有效解决传统砂
轮式切割方法所面临的崩边大、切割损失多、生产效率低、切割水处理等问题。机
台对SiC晶圆切割速度约为100mm/s，相比传统划片机切割速度大幅提升，产能效率
得到大幅提升，同时拥有零切口损失、断面平整、崩边裂痕少等优势，可助力客户
在同等尺寸晶圆下切出更多晶粒，有效提升客户产品良率。
该产品的推出将进一步丰富公司在小尺寸领域的产品布局，助力公司从现有的涂胶
显影、单片湿法等领域拓展至划片领域，为客户提供更丰富优质的产品选择，将进
一步提升公司在小尺寸领域的综合竞争优势。
3、人才团队建设情况
人才是企业发展的基石，公司高度重视优秀人才的引进、培养和研发团队的建设。
报告期内，公司持续引进外部优秀人才，公司员工人数由1,118人增加至1,366人。
公司拥有高水平的研发团队，研发人员中硕士研究生及以上学历占比超过50%。在
员工培养方面，公司自上市以来先后推出了三期限制性股票激励计划，共激励对象
336人次，被激励员工均为公司管理层及核心业务骨干，股票激励计划明确了公司
业绩考核目标，充分调动核心员工的积极性和主动性，力争在公司内部培养一批优
秀的管理和技术人才。
4、生产基地及子公司布局情况
公司基于行业需求及自身发展，持续开展全球化布局，致力于构建“以沈阳为中心
，全球多地设点”的新发展格局。公司目前在沈阳设有飞云路、彩云路两个生产基
地，主要从事后道先进封装、前道涂胶显影、前道物理清洗等产品的研发及产业化
。
2024年3月，公司控股子公司上海芯源微的临港生产基地正式竣工投产，核心产品
前道化学清洗设备产业化进展积极顺利。此外，公司在沈阳设有控股子公司，主要
面向Chipet新兴市场需求，开展2.5D、3D等高端封装新品的研发及产业化；在广州
设有控股子公司，主要从事光刻胶泵等核心部件的研发及产业化；在日本设有全资
子公司，主要从事供应链开拓、新品开发等业务。
5、筹划控制权变更事项进展
2025年3月10日，公司持股5%以上股东先进制造与北方华创签署了《股份转让协议
》，将其持有的19,064,915股公司股份全部转让给北方华创，占公司当时总股本的
9.49%。2025年3月31日，公司持股5%以上股东中科天盛与北方华创签署了《股份转
让协议》，将其持有的16,899,750股公司股份全部转让给北方华创，占公司当时总
股本的8.41%。公司分别于2025年3月11日、2025年3月12日、2025年3月26日、2025
年3月28日、2025年4月1日、2025年4月22日在上海证券交易所网站披露了本次事项
相关公告。截至本年度报告披露日，上述股份转让事项正在积极推进中。如两次协
议受让均过户完成，则北方华创对公司的持股比例（占目前总股本）将达到17.88%
，将成为公司第一大股东，北方华创计划通过前述协议受让和改组公司董事会取得
公司控制权。北方华创能否通过改组公司董事会取得公司控制权尚存在不确定性，
公司将根据后续进展情况及时履行信息披露义务。
北方华创系国内半导体设备行业龙头，产品包括刻蚀、薄膜沉积、炉管、快速退火
等核心工艺装备；公司系国内涂胶显影设备、单片式湿法设备龙头，化学清洗、临
时键合等新产品也在快速产业化。双方同属集成电路装备行业，但产品布局有所不
同，具有较强的互补性。如果上述控制权变更事项进展顺利，双方可以通过合作，
推动不同设备的工艺整合，协同为客户提供更完整、高效的集成电路装备解决方案
；另一方面，双方可在研发、供应链、客户资源等方面加强协同，共同提升企业竞
争力和股东回报能力。
二、报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明
(一)主要业务、主要产品或服务情况
公司成立于2002年，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括
光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备。经过20余年的技术发展，公司在巩固传
统优势领域的基础上不断丰富产品布局，目前已形成了前道涂胶显影设备、前道清
洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块，产品已完整覆盖
前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域。
1、前道涂胶显影设备
作为公司标杆产品，涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备
，主要与光刻机（芯片生产线上最庞大、最精密复杂、难度最大、价格最昂贵的设
备）配合进行作业，通过机械手使晶圆在各系统间传输和处理，从而完成晶圆的光
刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。
全球前道涂胶显影设备市场长期被日本厂商高度垄断，是国内目前少数几个国产化
率仍处于较低水平的“卡脖子”领域。公司作为目前国内唯一可以提供量产型前道
涂胶显影机的厂商，经过长期的技术积累和在客户端的验证及量产应用，目前已完
成在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全覆盖，并可持续向更高工艺等级迭
代，截至报告期末，28nm以下工艺技术正在验证中。
2、前道清洗设备
（1）前道化学清洗设备
公司战略性新产品前道化学清洗机已于2024年3月正式公开发布，机台具有高工艺
覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项核心优势，机台适用于高温SPM工艺
，同时可应用于沉积前清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗、CMP后清洗等多种前
段工艺和后段工艺清洗进程，整体工艺覆盖率达80%以上；机台搭载独立开发的新
一代高清洗效率低损伤射流喷嘴，洁净度已达到先进制程所需水平。
（2）前道物理清洗设备
前道物理清洗机适用于晶圆制造前段工艺（FEOL）与后段工艺（BEOL）进程中薄膜
沉积、光刻、刻蚀等多道工艺前后晶圆表面颗粒的清洗去除，设备配置低损伤雾化
清洗喷嘴与低损伤清洗毛刷，可广泛应用于国内28nm及以上工艺制程的晶圆制造领
域。
3、后道先进封装设备
（1）涂胶显影设备、单片式湿法设备
公司后道涂胶显影设备主要应用于先进封装技术BGA、Fip-Chip、WLCSP、CSP、2.5
D、3D等涂胶显影工艺，可实现高黏度PR、PI涂敷及多种显影工艺。公司单片湿法
设备包括清洗机、去胶机、刻蚀机等湿法类设备，可广泛应用于来料清洗、TSV深
孔清洗、Fux清洗等清洗、去胶及ift-off剥离工艺及多种介质层湿法刻蚀工艺。
（2）临时键合、解键合设备
公司提前布局自主研发的全自动临时键合及解键合机，主要针对Chipet技术解决方
案，可应用于InFO、CoWoS、HBM等2.5D、3D技术路线产品，兼容国内外主流胶材工
艺，能够适配60μm及以上超大膜厚涂胶需求，可实现高对准精度、高真空度环境
、高温高压力键合工艺，键合后产品TTV及翘曲度表现优异，对应开发的机械、激
光解键合技术，可覆盖不同客户产品及工艺需求。
4、化合物等小尺寸设备
公司生产的化合物等小尺寸设备主要应用于4-8寸晶圆工艺，产品包括涂胶显影机
、清洗机、去胶机等湿法类设备及SiC划裂片设备，可广泛应用于射频器件、功率
器件、光通信、MEMS、LED工艺生产环节。
(二)主要经营模式
1、盈利模式
公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售业务，通过向下游客户销售光刻
工序涂胶显影设备和单片式湿法设备等产品实现收入和利润。报告期内，公司主营
业务收入来源于半导体专用设备产品的销售，其他业务收入来源于设备相关配件销
售及维修服务等。
2、采购模式
公司主要根据生产订单物料、研发物料、售后服务物料的需求计划和安全库存的需
要等制定采购计划，采取与供应商单签合同或签订年度框架合同等方式开展采购。
为保证公司产品的质量和性能，公司对供应商进行统一管理，主要考察供应商的资
质实力、产品情况、售后服务等方面，经外部供方调查、样品试用或非标准部件定
制加工验证通过后确定合格供应商名录，并持续更新及跟踪评级。
3、研发模式
公司以自主研发为主，充分结合产品技术国际发展趋势及客户实际需求，以核心基
础技术研究、核心单元零部件研究、整机研发应用并重为原则，确定公司研发方向
和研发项目，建立了机械、电气、软件等多模块协同配合，公司级与部门级研发项
目相结合的研发创新机制。
4、生产模式
公司采用在手订单生产为主、潜在订单预投生产为辅的生产模式，根据已签单客户
以及有明确需求且供期紧张的潜在客户的具体需求进行产品定制化设计及生产制造
，以满足不同客户对产品不同的技术指标和交期的需求，同时也能合理管控公司在
产品的规模和呆滞风险。
5、销售模式
公司主要采劝直销为主、代销为辅”的销售模式。直销模式下，公司通过商务谈判
、招投标等方式获取订单；委托代理商销售模式下，公司与特定地区代理商签订产
品销售区域代理协议，由其负责在特定地区代理销售公司相关产品，公司向其支付
一定比例的代理佣金。公司配备了专业的销售与服务团队，主要负责售前客户需求
分析、商务谈判或招投标环节及销售设备的安装、调试、保修、维修、技术咨询及
客户端人员培训等售后工作。公司始终秉承“客户第一，为客户创造价值”的营销
理念，致力于为客户提供“专业精品”的产品及服务。
(三)所处行业情况
1、行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛
半导体设备行业是一个全球化程度较高的行业，受经济形势、下游市尝终端消费市
场需求等多重因素影响，其发展呈现一定的周期性波动。在全球半导体产业经历周
期性调整的背景下，其长期增长动能正加速向科技创新驱动转型。以生成式人工智
能、万物互联与高阶智驾为核心的新兴技术集群，通过重构底层算力架构与终端应
用场景，持续释放半导体市场需求。
半导体设备行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒，以美国应用材料
、荷兰阿斯麦、美国泛林集团、日本东京电子、美国科天等为代表的国际知名企业
占据了全球半导体设备市场的主要份额。随着近年来全球半导体产业格局和市场环
境的不断变化，半导体设备作为半导体制造行业的基石,其关键技术和产品的自主
可控尤为重要，也给我国本土半导体设备制造商带来挑战和机遇。
以公司核心产品前道涂胶显影设备为例，前道涂胶显影设备同时涵盖了工程力学、
材料学、光学、化学、微电子学及计算机软件等诸多领域，设备结构复杂，所需零
部件数万种；机台集成度高，涉及上百个功能单元，多腔体一致性要求严苛；工艺
流程路径长，每片晶圆可运行上百米，调度逻辑高度智能化；机台涉及光阻管路多
达十余只，还存在膜厚层差、显影缺陷多变、环境颗粒控制、在线检测等诸多难题
，机台技术壁垒极高。前道涂胶显影设备与客户具体制造工艺、光刻胶材料等结合
度较高，具有较强的非标属性。此外，前道涂胶显影设备需与客户端光刻机联机量
产验证，验证周期较长，验证成本较高，因此验证通过后客户粘性极强。
2、公司所处的行业地位分析及其变化情况
公司是国内涂胶显影、单片式湿法设备龙头企业，近年来持续加大研发投入，推出
了前道单片式化学清洗设备、临时键合解键合设备、SiC划裂片设备等多款新产品
，目前已形成了前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等
小尺寸设备四大业务板块，产品已完整覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物
半导体等多个领域。
3、报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势
（1）光刻机向着更高产能、更高精度方向持续进步
近年来，全球光刻机龙头厂商ASML在光源光罩系统、软件及算法等多方面陆续取得
技术突破与进步，其主要产品DUV光刻机在产能、精度指标上持续提升。在产能效
率方面，其KrF系列目前主流光刻机XT860产能约240-260WPH，新款NXT870目前已实
现量产产能330WPH，下一代产品NXT870B产能将进一步大幅提升，对与之配套工作
的涂胶显影设备产能提升提出较高要求；在套刻精度方面，ArFi系列目前主流光刻
机NXT1980DiOveray可达到2.5nm，新款NXT2100iOveray可达到1.3nm，下一代产品N
XT2150i套刻精度将继续提升。
涂胶显影机作为半导体产线上唯一与光刻机联机作业的重要设备，涂胶显影机的技
术演进方向需紧密适配主流光刻机的技术发展路径。目前，公司第三代架构浸没式
高产能涂胶显影机在复杂光刻工艺下已实现和全球主流光刻机联机量产工作。随着
光刻机产能的不断提升，公司已布局新一代超高产能涂胶显影机架构FTEX进行匹配
，机台应用更高工艺精度的超薄成膜、超细线宽均一性、精细缺陷控制等技术，目
前该机台研发进展顺利，将尽快导入到核心客户进行验证。未来，公司将继续锚定
全球主流光刻技术发展进程，持续提升涂胶显影设备各项核心指标，加速高端涂胶
显影设备的国产化替代进程。
（2）2.5D、3D先进封装技术高速发展
在半导体飞速发展的五十年里，“摩尔定律”作为信息技术进步的重要驱动力，一
直推动着芯片器件不断向小型化的方向发展。然而，随着晶体管特征尺寸日益接近
物理极限，量子效应和短沟道效应导致芯片制造存在工艺误差和加工缺陷，芯片制
造成本成倍增加，进而限制了晶体管的进一步缩小，单纯依靠尺寸微缩的方法已经
难以满足未来集成电路产业的发展需求。在摩尔定律逐渐放缓的情况下，Chipet技
术已成为持续提高集成度和芯片算力的重要途径之一。
在Chipet技术中，需要将晶圆进行减薄处理，但超薄晶圆具有高柔性、高脆性、易
翘曲、易起伏等特点，在减薄过程中极易产生碎裂、变形等缺陷，良品率极低。为
了降低减薄工艺中的碎片率，提高芯片制造的良率、加工精度和封装精度，通常采
用临时键合及解键合技术，在背面减薄前，采用临时键合的方式将晶圆转移到载片
上为其提供强度支撑，完成背面减薄及其他背面工艺后进行解键合。
公司提前布局自主研发的全自动临时键合及解键合机，可应用于InFO、CoWoS、HBM
等2.5D、3D技术路线产品，兼容国内外主流胶材工艺，能够适配60微米及以上超大
膜厚涂胶需求，可实现高对准精度、高真空度环境、高温高压力键合工艺，键合后
产品TTV及翘曲度表现优异，对应开发的机械、激光解键合技术，可覆盖不同客户
产品及工艺需求，为客户提供稳定高效的临时键合、解键合全流程解决方案。目前
公司临时键合机、解键合机已完成多家客户验证，工艺数据达到国际先进水平，已
进入小批量销售阶段。
(四)核心技术与研发进展
1、核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况
（1）前道涂胶显影机设备技术
作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影设备的公司，近年来公司持续加大研发
投入，对前道涂胶显影设备多项关键技术进行重点突破和完善升级，目前公司在光
刻工艺胶膜均匀涂敷技术、精细化显影技术、高产能设备架构及机械手优化调度技
术、内部微环境精确控制技术等多项关键技术上已达到国际先进水平。
报告期内，公司新一代超高产能涂胶显影机架构FTEX取得积极进展，FTEX系列前道
超高产能涂胶显影机具有高产能、高稳定性、高可靠性、高度集成化和智能化等多
项核心优势，机台采用六层对称架构，中间布局高效的晶圆传输模组作为连接枢纽
，并设计高效冷盘塔连接模块，在调度上应用多层并行进片回片模式，为整机产能
提升奠定更先进的架构基础，可匹配未来更先进的光刻机产能提升需求。
（2）前道清洗设备技术
公司前道化学清洗设备具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项核
心优势：①高工艺覆盖性：设备适用于薄膜前后清洗、干法蚀刻后清洗、离子注入
灰化后清洗、CMP后清洗等多种清洗工艺，能够适配高温SPM工艺，整体工艺覆盖率
达到80%以上。
②高稳定性：机台UPTime达到高指标要求，刻蚀一致性随机抽取100组稳定在2%以
内，可以满足客户的高稳定性需求。
③高洁净度：机台借鉴了公司前道涂胶显影和前道物理清洗的成熟技术，通过气体
流场仿真优化，确保机台内部微环境均匀稳定，同时搭载了独立研发的新一代高清
洗效率低损伤射流喷嘴，通过26nmpartice测试，达到先进制程所需工艺水平。
④高产能：通过移植前道涂胶显影设备多层堆叠的技术优势，同时搭载公司自研的
高速机械手，机台16腔高产能架构可以实现清洗效率的大幅提升，整体工艺产能够
对标国际主流机台，达到国际先进水平。
公司前道物理清洗技术较为成熟，多项核心技术已达到国际先进水平，已成为国内
逻辑、功率客户主力机型。报告期内，公司在物理清洗机产能提升和26nm颗粒控制
能力等核心指标上持续取得突破和进步。
（3）后道先进封装设备技术
公司后道先进封装涂胶显影设备及单片式湿法设备技术较为成熟，整体已达到国际
先进水平，部分核心技术已达到国际领先水平，已成为国内先进封装客户首选品牌
，近年来，公司在各项技术指标上继续巩固领先优势，产品竞争力不断增强。报告
期内，公司新产品Frame清洗设备也取得良好进展，目前已在国内多家客户通过工
艺验证并成功实现验收，设备可有效去除晶圆表面的残胶、金属残渣以及颗粒等污
染物，实现超薄片清洗，达到无损伤脱落。
公司临时键合机及解键合机具有业内领先的键合胶旋涂均匀性、键合TTV工艺指标
，集成高精视觉校准功能/真空传送的键合腔体，机台搭载TTV检测技术，可实现键
合片组闭环检测，机台整体已达到国际先进水平。
（4）化合物等小尺寸设备技术
公司化合物等小尺寸涂胶显影设备及单片式湿法设备技术较为成熟，多项核心技术
已达到国际先进水平。公司新产品全自动SiC划裂片一体机应用独有的SnB划裂片技
术，能够有效解决传统砂轮式切割方法所面临的崩边大、切割损失多、生产效率低
、切割水处理等问题，可助力客户在同等尺寸晶圆下切出更多晶粒，同时有效提升
客户产品良率。机台对SiC晶圆切割速度约为100mm/s，相比传统划片机切割速度大
幅提升，产能效率得到大幅提升。
2024年3月，国家工业和信息化部公布了第八批制造业单项冠军企业名单，沈阳芯
源微电子设备股份有限公司凭借涂胶显影机产品获评“国家级制造业单项冠军企业
”。
2、报告期内获得的研发成果
截至2024年12月31日，公司共获得专利授权332项，其中发明专利199项（其中中国
大陆地区发明专利178项，中国台湾地区发明专利18项，美国发明专利3项），实用
新型专利95项，外观设计专利38项；拥有软件著作权96项。
3、研发投入情况表
研发投入总额较上年发生重大变化的原因
研发费用同比增长49.93%，主要原因是公司持续加大研发投入，职工薪酬、研发材
料、服务费增加。
4、在研项目情况
情况说明无。
5、研发人员情况
6、其他说明
三、报告期内核心竞争力分析
(一)核心竞争力分析
1、持续丰富的产品线布局
公司是国内涂胶显影、单片式湿法设备龙头企业，近年来，公司在不断巩固主业市
场优势的同时，陆续推出了多款重要设备。2023年，公司临时键合、解键合设备获
得了多家大客户订单，2023年9月，公司广州子公司正式成立，致力于光刻胶泵等
核心零部件的研发和产业化，2024年3月，公司正式发布了前道化学清洗机、全自
动SiC划裂片一体机两款全新设备，公司产品线持续丰富。
公司已形成了前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小
尺寸设备四大业务板块，产品已完整覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半
导体等多个领域。
2、优秀的研发技术团队与核心管理团队
公司建有较为完善的人才培养体系，通过承担国家重大专项及地方重大科研任务、
开展专题技术培训等方式培养了半导体设备的设计制造、工艺制程、软件开发与应
用等多种学科人才。公司重视技术人才队伍的建设，积极引进了一批具有丰富的半
导体设备行业经验的高端人才，形成了稳定的核心技术人才团队，能紧密跟踪国际
先进技术发展趋势，具备较强的持续创新能力。
公司核心管理团队人员稳定，具有丰富的管理经验，对行业的发展趋势和竞争格局
有深入的了解，且均在公司服务多年，为公司后续的稳健经营、良性发展打下了基
础，是公司快速稳定发展的重要因素。中层骨干干部年龄结构合理，梯队建设良好
，在市尝生产、研发等各重要岗位都具有兼具经验和事业热情的专业领军人物。
在员工培养方面，公司自上市以来先后推出了三期限制性股票激励计划，共激励对
象336人次，被激励员工均为公司管理层及核心业务骨干，股票激励计划明确了公
司业绩考核目标，充分调动核心员工的积极性和主动性，力争在公司内部培养一批
优秀的管理和技术人才。
3、丰富的技术储备
公司高度重视新技术、新产品和新工艺的研发工作，报告期内，公司研发支出2.97
亿元，占营业收入的16.92%。通过多年的技术积累以及承担国家02重大专项，公司
已经成功掌握包括涂胶显影设备、单片式湿法设备等产品多项核心技术，并形成了
完善的自主知识产权。
截至2024年12月31日，公司共获得专利授权332项，其中发明专利199项（其中中国
大陆地区发明专利178项，中国台湾地区发明专利18项，美国发明专利3项），实用
新型专利95项，外观设计专利38项；拥有软件著作权96项。
4、优质的客户资源
公司以沈阳为销售总部，并在苏州、昆山、武汉、上海等地设有办事处，销售网络
覆盖长三角、珠三角及中国台湾地区等产业重点区域，建立了快速响应的销售和技
术服务团队。
2021年，公司控股子公司“上海芯源微企业发展有限公司”在上海自由贸易试验区
临港新片区注册成立。上海已成为全球集成电路产业投资最具吸引力的地区之一，
公司上海子公司的建设，将实现公司三“靠近”的初衷——“靠近客户”、“靠近
人才”、“靠近供应链”，是公司加快发展的重要里程碑。2023年9月，公司控股
子公司广州芯知在广州市成立，完善了公司在粤港澳大湾区区域的战略布局。
5、较为突出的行业地位
公司是国家集成电路产业技术创新联盟及集成电路封测产业链技术创新战略联盟理
事单位，先后主持制定了喷胶机《喷雾式涂覆设备通用规范》（SJ/T11576-2016）
、涂胶机《旋转式涂覆设备通用规范》（SJ/T11183-2022）两项行业标准，均已正
式颁布实施。
2023年，公司技术中心被认定为“国家企业技术中心”，国家企业技术中心的认定
，是对公司技术创新能力和自主研发能力的充分肯定，也是公司科研能力和综合能
力的体现。成立至今，公司先后获得“全国第一批专精特新‘小巨人’”、“国家
级知识产权优势企业”、“国家高技术产业化示范工程”、“国家级企业技术中心
”、“国内先进封装领域最佳设备供应商”、“辽宁五一劳动奖状”、“第六届全
国专业技术人才先进集体”、“全国五一劳动奖状”等多项殊荣，公司产品先后获
得“国家战略性创新产品”、“国家重点新产品”、“辽宁省科学技术进步一等奖
”、“辽宁省制造业单项冠军产品”等多项荣誉，充分体现了公司的技术水平和管
理能力，奠定了公司在细分行业内的突出地位。
6、高效的质量管控与服务保障能力
公司自成立以来一直专注于半导体专用设备的研发、生产和销售，以高效的质量管
控、全面优质的客户服务以及快速灵活的售后响应赢得市常公司坚持“质量为上”
的经营理念，建立了完善的质量控制制度，实行严格的质量控制手段，以保证产品
质量的稳定性和一致性。目前公司应用于集成电路制造后道先进封装领域的喷胶机
、涂胶/显影机和清洗机等产品已通过SEMIS2国际安规认证，为公司进入国际半导
体设备供应商体系奠定了良好的基矗同时公司坚持以用户需求为中心，高度重视客
户服务能力建设，已形成对客户需求的快速反应机制，以保证及时、迅速、有效地
解决客户在产品后续使用过程中遇到的相关问题。此外，公司研发人员会定期进行
客户拜访以收集产品需求，并根据客户及市场需求进行产品的升级或更新换代，以
保持产品的持续竞争力。
7、完善的供应链
半导体设备属于高精密的自动化装备，研发和生产均需使用大量的高精度元器件，
对产品机械结构的精度和材质要求也很高。经过多年的沉淀，公司与国内外供应商
建立了较为稳定的合作关系，培育与建设成了较为完善的原材料供应链，有利于保
证公司产品原料来源的稳定性及可靠性。公司提前布局上游零部件国产替代，对国
内供方进行长期培养和扶持，报告期内成功实现了多种泵类零部件的国产替代。报
告期内，公司通过批采谈判、年度框架合同等商务方式有效降低了整体采购成本。
2022年8月，公司全资子公司KingsemiKyoto株式会社（后更名为“KingsemiJapan
株式会社”）在日本京都正式设立。日本子公司的设立，有助于公司深入对接日本
在泛半导体领域的高端产业及研发资源，增强公司在设备及关键零部件领域的技术
实力。同时，还可借助境外丰富的供应链资源，寻找更为可靠、更具性价比的原材
料采买渠道，降低产品生产成本，增强产品整体竞争力。
(二)报告期内发生的导致公司核心竞争力受到严重影响的事件、影响分析及应对措
施
四、风险因素
(一)尚未盈利的风险
(二)业绩大幅下滑或亏损的风险
(三)核心竞争力风险
(四)经营风险
1、下游客户扩产不及预期或产能过剩的风险
半导体设备行业受下游半导体市场及终端消费市场需求波动的影响较大，如果终端
消费市场需求尤其是增量需求下滑或由于快速扩张导致的产能过剩，半导体制造厂
商可能会削减资本性支出规模，将会对包括公司在内的半导体设备行业企业的经营
业绩造成较大不利影响。
2、研发投入可能大幅增长的风险
随着公司对新产品、新技术研发的持续投入以及可能承担重大科研项目，未来公司
研发投入可能会出现阶段性的大幅增长，不排除对公司的经营业绩造成一定冲击。
3、供应商供货不稳定或成本提升风险
半导体设备属于高精密的自动化装备，研发和生产均需使用高精度元器件，对产品
机械结构的精度和材质要求较高，而我国与此相关的产业配套环境依然不够成熟，
部分关键零部件仍然有赖于进口。公司虽与上游供应商建立了长期稳定的合作关系
，但不排除因少数国家持续滥用出口管制措施或者关税壁垒，导致相关物料供应受
阻或成本提升，或未来下游半导体制造业对半导体设备需求出现爆发式增长从而对
上游供应商的重要物料短期内造成挤兑，最终对公司产品生产造成一定的压力。
4、产品商业化推广不及预期的风险
作为半导体产线上唯一与光刻机联机作业的核心工艺设备，公司核心产品前道涂胶
显影机机械结构及软件调度复杂、工艺验证难度高、成熟化周期长。近年来，虽然
公司在该领域产品研发及客户导入取得了一定成绩，成功在下游客户端占据一席之
地，但该细分赛道仍然被日本厂商高度垄断，技术壁垒极高。与此同时，国际主流
光刻机在产能效率及精度指标等方面也在持续提升，对与之配套的涂胶显影机的研
发迭代提出了更高的要求，不排除公司在该领域产品后续商业化推广不及预期的风
险。此外，公司目前已陆续推出了包括前道化学清洗机、临时键合机、解键合机、
全自动SiC划裂片一体机等在内的多款新产品，截至报告期末，上述新产品仍处于
商业推广初期，尚未形成大规模销售，如果未来商业化推广不及预期，不排除会对
公司业绩产生较大不利影响。
在上述各项影响因素综合作用下，不排除未来公司经营业绩出现大幅波动的风险。
(五)财务风险
1、应收账款回收风险
公司应收账款占流动资产的比重较大，虽然公司主要客户的历史信用状况良好，应
收账款发生坏账的可能性较小，但一旦客户的财务状况恶化或信用状况发生重大变
化，公司未来的生产经营及偿债能力仍可能受到不利影响。
公司已严格依据企业会计准则要求评估应收账款信用风险并计提减值损失准备，未
来将进一步加强对客户资信情况的调查和分析，严格按合同组织生产和销售，强化
应收账款监督考核，健全销售回款责任制、呆坏账损失核销制，以确保公司整体信
用风险处于可控范围内。
2、存货跌价风险
公司的存货风险主要为未来下游行业需求发生重大变化或者其他难以预料的情况出
现，导致存货无法顺利消化并出售，可能对公司的经营业绩及经营现金流产生不利
影响。公司已制定了完善的存货管理制度并有效执行，未来将密切关注下游需求变
化，降低产品库存风险。
3、税收优惠风险
报告期内，公司享受的税收优惠政策包括软件产品增值税即征即退、研发费用加计
扣除、高新技术企业所得税优惠等。如果国家有关税收优惠的法律、法规、政策等
发生重大调整，或者由于公司未来不能持续取得国家高新技术企业资格等原因而无
法享受相关税收优惠，将对公司的经营业绩造成不利影响。
4、政府补助政策风险
报告期内，公司非经常性损益中计入当期损益的政府补助的金额为1.37亿元，占当
期利润总额的比例为60.94%。如果未来政府部门对公司所处产业的政策支持力度有
所减弱，公司取得的政府补助金额将会有所减少，进而对公司的经营业绩产生不利
影响。
(六)行业风险
1、市场竞争加剧的风险
作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶显影设备成功打破国
外厂商垄断并填补国内空白，其中在集成电路制造后道先进封装和LED芯片制造等
环节，作为国内厂商主流机型已成功实现国产替代，伴随着半导体产业市场竞争愈
发激烈，如果未来有更多的半导体设备制造企业生产同类型设备，或采取恶意竞争
的策略，则可能会导致公司未来客户流失、市场地位和经营业绩下滑，从而对公司
持续经营能力产生不利影响。
2、国际贸易摩擦加剧的风险
随着国际贸易不确定性的增加，不排除相关国家贸易政策变动影响公司上游供应商
的供货稳定性。
(七)宏观环境风险
半导体设备行业受下游半导体市场及终端客户市场需求波动的影响较大，其发展呈
现一定的周期性，如果未来宏观经济发展乏力，终端客户市场需求恢复不及预期，
半导体制造厂商将会减少半导体设备的采购，行业将面临一定的波动风险。
(八)存托凭证相关风险
(九)其他重大风险
五、报告期内主要经营情况
报告期内，公司实现营业收入175,360.60万元，较上年同期增长2.13%；归属于上
市公司股东的净利润20,281.20万元，较上年同期下降19.08%；归属于上市公司股
东的扣除非经常性损益的净利润7,330.66万元，较上年同期下降60.83%。
六、公司关于公司未来发展的讨论与分析
(一)行业格局和趋势
请“第三节管理层讨论与分析”之“三、报告期内新技术、新产业、新业态、新模
式的发展情况和未来发展趋势”。
(二)公司发展战略
公司始终秉承“为客户创造价值”的企业使命，坚持“客户第一、奋斗为本、诚信
合作、专业精品”的企业精神，专注于高端半导体专用设备领域，通过持续的技术
研发和供应链建设，提升公司的核心竞争力，增强团队的执行力和凝聚力，不断开
拓新产品、新领域，有效提升公司收入和利润规模，为股东创造价值。公司将积极
加强技术人才团队、知识产权和商业秘密体系建设，通过有效的内控和核心竞争力
的提升，稳健发展并防范各种风险。
(三)经营计划
1、把握行业发展机遇，立足涂胶显影主赛道做优做强
根据SEMI预测，未来几年下游市场对电子产品的成长需求以及人工智能创新带来的
应用浪潮将继续引领晶圆厂进行产能扩张，全球前道300mm晶圆厂设备支出预估将
持续增长，2025年预计将增长20%至1165亿美元，2027年将达到创纪录的1370亿美
元。作为半导体产线上唯一与光刻机联机作业的核心工艺设备，国内前道涂胶显影
机市场目前仍被国外厂商高度垄断，是少数几种国产化率仍维持在较低水平的“短
板环节”。经过多年努力，公司目前已成功推出包括offine、I-ine、KrF、ArF浸
没式等在内的多种型号产品，成功在下游客户端抢占一席之地。
公司将继续把握半导体行业发展机遇，紧紧围绕下游客户需求，立足涂胶显影主赛
道，持续开展技术研发及产品迭代，加快推进产品成熟化、标准化，持续提升机台
稳定性及产能效率，为客户提供更具性价比和竞争力的半导体装备产品及工艺整体
解决方案。公司还将继续紧盯全球光刻工艺发展新趋势，结合公司整体发展战略，
继续研发新一代可适应更高光刻机产能的涂胶显影架构，应用更高工艺精度的超薄
成膜、超细线宽均一性、精细缺陷控制等核心关键技术，持续提升机台各项核心工
艺指标，加速高端涂胶显影设备的国产化替代进程。
2、围绕下游客户需求，积极培育化学清洗等多个新业务增长点
集成电路前道晶圆加工领域，公司于2024年3月正式发布战略性新产品前道单片式
化学清洗机，该产品具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项核心
优势，能够适配高温SPM工艺，整体工艺覆盖率达到80%以上。公司首台高温SPM化
学清洗机已成功通过客户工艺验证，成功打破国外垄断，获得国内客户高度认可，
目前公司化学清洗机已获得国内多家大客户订单及验证性订单。该机台的推出，标
志着公司从前道物理清洗领域成功跨入到技术含量更高、市场空间更大的前道化学
清洗领域，将公司前道产品（涂胶显影+清洗）的国内市场空间由原来的百亿人民
币大幅提升至两百亿人民币，进一步完善了公司在前道领域的战略布局。公司将进
一步加大对化学清洗产品的客户端推广及验证力度，做好潜在客户签单及生产交付
工作，同时还将继续加大研发投入，不断开发并覆盖其他工艺空白领域，持续优化
和提升产品工艺能力，为客户提供更先进、更具性价比的化学清洗产品。
集成电路后道先进封装领域，公司生产的涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多
年作为主力量产机台批量应用于台积电、盛合晶微、长电科技、华天科技、通富微
电等海内外一线大厂，部分技术已达到国际领先水平，具有较强的全球竞争力。为
积极响应国家支持Chipet产业大发展的号召，公司基于在先进封装领域多年的技术
积累和客户储备，正积极围绕头部客户需求开展2.5D/3D先进封装相关产品的国产
化替代，目前已成功推出包括临时键合、解键合、Frame清洗等在内的多款新产品
。公司将继续推动上述新产品在客户端尤其是头部厂商的导入和验证力度，深度绑
定核心关键客户，力争获得客户的批量重复性订单。同时，公司也将继续围绕头部
客户其他个性化需求，持续开发其他Chipet新品类，不断丰富公司在先进封装领域
的产品布局。
化合物半导体领域，公司目前已正式推出全自动SiC划裂片一体机，该款机台由公
司日本子公司与合作伙伴联合研发，借助独有的SnB划裂片技术，可以有效解决传
统砂轮式切割方法所面临的崩边大、切割损失多、生产效率低、切割水处理等问题
。该产品的推出将进一步丰富公司在小尺寸领域的产品布局，助力公司从现有的涂
胶显影、单片湿法等领域拓展至划片领域，为客户提供更丰富优质的产品选择，将
进一步提升公司在小尺寸领域的综合竞争优势。
3、加强自主创新力度，坚持高水平研发投入及成果转化
半导体设备属于高度技术密集型行业，具有极高的技术壁垒和客户准入门槛。多年
以来，公司始终站在实现科技高水平自立自强的战略高度，将提高自主创新能力作
为公司发展的第一要务，持续加大研发投入力度，研发费用连续多年保持在营业收
入的10%以上，近五年研发费用年均复合增速超过50%。此外，公司在内部也积极推
行支持研发、尊重人才、提倡创新的浓厚氛围，鼓励研发团队持续跟踪市场发展动
态及技术演进方向，不断提升现有产品竞争力水平，同时加速开展新产品开发及产
业化。
公司将继续坚持以市场和客户需求为导向，积极响应国家战略部署及核心技术攻关
需求，持续加大对产品及核心技术的研发投入力度，继续加大对研发人才以及研发
端软硬件的投入力度，进一步强化基础研发能力建设，结合市场需求开展对新工艺
、新技术的前瞻性布局，推动产品技术高效升级，实现研发及产业化良性循环。
4、完善公司供应链建设，形成整机+零部件双轮驱动发展新格局
半导体设备行业的供应链管理对于产品的质量保证及交付能力有着至关重要的影响
。2024年，公司在供应链管理方面将继续推动数字化、信息化、标准化建设，助力
供应链高效、科学、规范管理。经过多年经营发展，公司目前已构建了面向全球的
稳定可靠的原材料供应渠道，与数百家核心供应商建立了较为稳定的战略合作伙伴
关系，对关键零部件采取多厂商策略及滚动预投，以确保关键零部件供应的及时性
。此外，公司还将继续开展关键核心物料国产化替代工作，在保证品质的前提下，
稳妥开展进口核心物料国产化替代（包括但不限于机械手、泵类、热盘、氟树脂部
件等）。
公司将通过联合开发、自主研发、寻找替代供应商等方式降低核心部件成本，巩固
核心部件可控性，持续提升产品综合竞争力。2022年8月，公司日本子公司成功设
立，进一步丰富了公司供应链资源。2023年9月，公司广州子公司正式成立，广州
子公司将依托母公司在涂胶显影等领域深厚的技术积淀及经验积累，致力于开展光
刻胶泵等核心关键零部件研发及产业化，形成整机+零部件双轮驱动发展新格局。
5、优化运营管理，不断提升经营质量及效率
公司将持续推动信息化、数字化建设，落实精益化、全过程管理，以提高整体运营
效率为目标，开展降本增效全员行动计划。公司将运营管理中的各项关键指标细化
分解到各业务部门，包括新签订单、生产出货、合同验收、销售回款、费用管控等
关键指标，同时在生产经营全过程设立一系列动态考核指标，覆盖质量、效率、库
存、安全生产等多方面。公司将指派专人持续动态跟踪各项指标的执行情况，定期
反馈执行结果并提出改进要求。
公司始终坚持“客户第一、奋斗为本、诚信合作、专业精品”的企业精神，全面强
化质量管理工作。公司继续将产品质量管控及机台交验及时性作为公司级运营目标
，在质量管理方面推行信息化、标准化，将品质管理覆盖到产品生命周期的各个环
节，从物料品质，到过程品质再到客户端品质，做到全流程可追溯、标准化管理。
同时，公司针对关键岗位、关键工序制定了严格的绩效考核指标，确保产品生产及
交付质量。公司将持续推行各项质量管理改进措施，落实过程品质管理，夯实全面
质量管理效能。
6、建设高水平人才团队，完善的人才培养机制
公司已建立了稳定的核心技术人才团队，形成了完善的人才培养机制。下一阶段，
公司将加快建设高端技术人才团队，培养、储备一批设计制造、工艺制程、软件开
发与应用等多学科的专业人才，形成具有丰富的半导体设备行业经验的高端人才的
技术团队。公司为核心人员提供了具有竞争力的待遇，充分激发核心团队的创新积
极性，吸纳并留住核心人才。在员工培养方面，公司先后推出了三期限制性股票激
励计划，共激励对象336人次，被激励员工均为公司管理层及核心业务骨干，股票
激励计划明确了公司业绩考核目标，充分调动核心员工的积极性和主动性，力争在
公司内部培养一批优秀的管理和技术人才。
7、建立完善的知识产权和商业秘密保护体系
半导体设备的制造需要综合运用光学、物理、化学等多学科技术，具有技术壁垒高
、制造难度大等特点，因此知识产权和商业秘密是半导体设备企业立足和发展的根
本。公司重视知识产权和商业秘密的保护，将知识产权和商业秘密作为重要资产，
把知识产权和商业秘密保护体系建设作为公司科技进步和发展壮大的一项重要任务
。目前公司已建立了完善的知识产权和商业秘密保护和内部管理制度。
【4.参股控股企业经营状况】
【截止日期】2024-12-31
┌─────────────┬───────┬──────┬──────┐
｜企业名称 ｜注册资本(万元)｜净利润(万元)｜总资产(万元)｜
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｜沈阳芯俐微电子设备有限公司｜ 10000.00｜ -｜ -｜
｜广州芯知科技有限公司 ｜ 5000.00｜ -｜ -｜
｜上海芯源微企业发展有限公司｜ 63800.00｜ -15623.15｜ 88703.01｜
｜上海摩普仕智能科技有限公司｜ -｜ -｜ -｜
｜Kingsemi Japan株式会社 ｜ 10250.00｜ -｜ -｜
└─────────────┴───────┴──────┴──────┘
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