| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-03-31 持股变动数(万) |
| 中国有研科技集团有限公司 | 一般法人 | 28009.84 | 33.0900 | 0.00 |
| 广东粤财信托有限公司-粤财信托·粤中3号单一资金信托计划 | 一般法人 | 1470.91 | 1.7400 | 0.00 |
| 中国稀有稀土股份有限公司 | 一般法人 | 1334.00 | 1.5800 | 0.00 |
| 国联安中证全指半导体产品与设备 (512480.OF) | 基金 | 627.81 | 0.7416 |  |
| 国泰君安证券股份有限公司-国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 627.81 | 0.7400 | 55.56 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 580.86 | 0.6900 | -63.74 |
| 招商银行股份有限公司-南方中证1000交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 547.68 | 0.6500 | 103.82 |
| 南方中证1000ETF(512100.OF) | 基金 | 547.68 | 0.6470 | |
| 王斌 | 一般法人 | 329.66 | 0.3900 | |
| 招商银行股份有限公司-华夏中证1000交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 322.41 | 0.3800 | 76.39 |
