| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 深圳同创锦绣资产管理有限公司-深圳南海成长湾科私募股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 基金 | 114.69 | 0.8600 |  |
| 中保投资有限责任公司-中国保险投资基金(有限合伙) | 基金 | 59.41 | 0.4500 | |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 40.96 | 0.3100 | |
| 厦门市惠友豪嘉股权投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 31.99 | 0.2400 | |
| 周卫明 | 一般法人 | 29.00 | 0.2200 | -1.42 |
| 卢金莲 | 一般法人 | 25.09 | 0.1900 | |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 20.20 | 0.1500 | |
| 傅晴荣 | 一般法人 | 20.13 | 0.1500 | 2.00 |
| 辛巧霞 | 一般法人 | 16.82 | 0.1300 | 0.50 |
| 郁国鑫 | 一般法人 | 16.66 | 0.1200 | 0.20 |
