| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 92.15 | 0.4600 |  |
| 招商银行股份有限公司-南方科创板3年定期开放混合型证券投资基金 | 基金 | 71.29 | 0.3500 | 0.00 |
| 中国工商银行股份有限公司-诺安成长混合型证券投资基金 | 基金 | 64.98 | 0.3200 | 0.00 |
| 曲劲凡 | 一般法人 | 56.00 | 0.2800 | 0.00 |
| 凡章 | 一般法人 | 31.00 | 0.1500 | 6.66 |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 30.63 | 0.1500 | |
| 刘宜超 | 一般法人 | 27.23 | 0.1300 | |
| 程萍 | 一般法人 | 23.21 | 0.1100 | |
| 林煌 | 一般法人 | 23.00 | 0.1100 | |
| 厉炯慧 | 一般法人 | 22.88 | 0.1100 | |
