| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-06-30 持股变动数(万) |
| 中国有研科技集团有限公司 | 一般法人 | 23042.25 | 18.4700 | 0.00 |
| 德州芯利咨询管理中心(有限合伙) | 一般法人 | 1432.00 | 1.1500 | 0.00 |
| 中电科核心技术研发股权投资基金(北京)合伙企业(有限合伙) | 基金 | 887.51 | 0.7100 | -0.60 |
| 国新风险投资管理(深圳)有限公司-深圳诺河投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 877.37 | 0.7000 | -450.50 |
| 德州芯睿咨询管理中心(有限合伙) | 一般法人 | 856.00 | 0.6900 | 0.00 |
| 中信证券股份有限公司-嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 847.25 | 0.6800 | -38.18 |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 732.79 | 0.5900 |  |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 391.76 | 0.3100 | |
| 招商银行股份有限公司-南方中证1000交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 342.02 | 0.2700 | -3.92 |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 283.64 | 0.2300 | |
