累计持有：2.97亿股，累计占流通股本比58.50%，较上期变化： -156.90万股 ，占比变化： -0.31%

股东名称	持有数量 (万股)	持股变化 (万股)	占流通股本比例(%)	占比变化(%)	股份类型
中国有研科技集团有限公司	23042.25	未变	45.40	未变	流通A股
德州芯利咨询管理中心(有限合伙)	1432.00	未变	2.82	未变	流通A股
中电科核心技术研发股权投资基金(北京)合伙企业(有限合伙)	887.51	-0.60	1.75	未变	流通A股
国新风险投资管理(深圳)有限公司－深圳诺河投资合伙企业(有限合伙)	877.37	-450.50	1.73	-0.89	流通A股
德州芯睿咨询管理中心(有限合伙)	856.00	未变	1.69	未变	流通A股
中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金	847.25	-38.18	1.67	-0.07	流通A股
香港中央结算有限公司	732.79	新进	1.44	新进	流通A股
广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	391.76	新进	0.77	新进	流通A股
招商银行股份有限公司－南方中证1000交易型开放式指数证券投资基金	342.02	-3.92	0.67	-0.01	流通A股
长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	283.64	新进	0.56	新进	流通A股

累计持有：2.98亿股，累计占流通股本比58.81%，较上期变化： 128.83万股 ，占比变化： 0.25%

累计持有：2.97亿股，累计占流通股本比58.56%，较上期变化： -759.21万股 ，占比变化： -1.49%

累计持有：3.05亿股，累计占流通股本比60.05%，较上期变化： -2230.64万股 ，占比变化： -5.17%

累计持有：3.27亿股，累计占流通股本比65.22%，较上期变化： -333.53万股 ，占比变化： -0.67%