国林科技(300786)问董秘

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国林科技(300786)答投资者问

公司是否有生产原子层刻蚀(ALE)级别的半导体臭氧设备?

尊敬的投资者,您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括化学气相沉积、原子层薄膜沉积、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除、表面处理、氧化物生成等工艺制程,目前被广泛应用于电子工业中。子公司国林半导体现有产品包括:半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品,详细产品介绍您可以关注公司官网信息。感谢您的关注。

来源:互动易     答复时间:2025/8/8 17:02:08

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