| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-08-25 持股变动数(万) |
| 厦门市鑫鼎国瑞资产管理有限公司-鑫瑞集诚(厦门)创业投资合伙企业(有限合伙) | 一般法人 | 1701.84 | 12.3000 | 0.00 |
| 南京明春科技有限公司 | 一般法人 | 1293.00 | 9.3400 | 0.00 |
| 卢语 | 一般法人 | 900.97 | 6.5100 | 0.00 |
| 张小潞 | 一般法人 | 232.25 | 1.6800 | 0.00 |
| 王华龙 | 一般法人 | 161.96 | 1.1700 | 0.00 |
| 深圳红荔湾投资管理有限公司-红荔湾昌雄三号私募证券投资基金 | 基金 | 126.71 | 0.9200 | 0.00 |
| 深圳红荔湾投资管理有限公司-红荔湾山海策略价值成长1号私募证券投资基金 | 基金 | 117.00 | 0.8500 | 0.00 |
| 吴春生 | 一般法人 | 102.11 | 0.7400 | 0.00 |
| 深圳市上古投资管理有限公司-上古投资瑞喜2号私募证券投资基金 | 基金 | 101.79 | 0.7400 |  |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一般法人 | 92.70 | 0.6700 | |
