| 股东名称 | 股份类型 | 持股数(万) | 占总股本 比例(%) | 较2025-03-31 持股变动数(万) |
| 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 一般法人 | 39427.22 | 25.1831 | 0.00 |
| 中国工商银行股份有限公司-易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 2960.67 | 1.8911 | -58.32 |
| 易方达创业板ETF(159915.OF) | 基金 | 2960.67 | 1.8911 |  |
| 兴业银行股份有限公司-华夏中证机器人交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 2804.21 | 1.7911 | 499.71 |
| 中国农业银行股份有限公司-中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 1857.33 | 1.1863 | 245.34 |
| 南方中证500ETF(510500.OF) | 基金 | 1857.33 | 1.1863 | |
| 香港中央结算有限公司 | 一般法人 | 1143.26 | 0.7302 | 351.24 |
| 天弘中证机器人交易型开放式指数(159770.OF) | 基金 | 1135.66 | 0.7254 | 210.84 |
| 中国建设银行股份有限公司-华安创业板50交易型开放式指数证券投资基金 | 基金 | 1120.08 | 0.7154 | |
| 华安创业板50(159949.OF) | 基金 | 1120.08 | 0.7154 | |
