累计持有：1.78亿股，累计占流通股本比30.26%，较上期变化： 242.12万股 ，占比变化： -0.19%

股东名称	持有数量 (万股)	持股变化 (万股)	占流通股本比例(%)	占比变化(%)	股份类型
衢州市柯城区盈川产业基金管理有限公司	8000.00	未变	13.57	未变	流通A股
深圳市远致富海投资管理有限公司－深圳远致富海十一号投资企业(有限合伙)	5142.49	-30.00	8.73	-0.22	流通A股
中信证券股份有限公司－嘉实上证科创板芯片交易型开放式指数证券投资基金	1332.55	-65.23	2.26	-0.16	流通A股
广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	624.63	新进	1.06	新进	流通A股
招商银行股份有限公司－南方中证1000交易型开放式指数证券投资基金	540.64	-3.62	0.92	-0.02	流通A股
海通创新证券投资有限公司	508.30	新进	0.86	新进	流通A股
应淑秋	479.21	新进	0.81	新进	流通A股
长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	446.19	新进	0.76	新进	流通A股
国泰海通证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金	403.63	-222.31	0.68	-0.40	流通A股
广发证券股份有限公司－鹏华上证科创板100交易型开放式指数证券投资基金	356.54	-5.01	0.61	-0.02	流通A股

累计持有：1.76亿股，累计占流通股本比30.45%，较上期变化： -513.05万股 ，占比变化： -0.89%

累计持有：1.81亿股，累计占流通股本比31.34%，较上期变化： -345.01万股 ，占比变化： -0.60%

累计持有：1.85亿股，累计占流通股本比31.94%，较上期变化： -6398.36万股 ，占比变化： -11.07%

累计持有：2.48亿股，累计占流通股本比43.01%，较上期变化： 2.34亿股 ，占比变化： 37.77%

股东名称	持有数量 (万股)	持股变化 (万股)	占流通股本比例(%)	占比变化(%)	股份类型
深圳市远致富海投资管理有限公司－深圳远致富海十一号投资企业(有限合伙)	10000.00	新进	17.31	新进	流通A股
衢州市柯城区盈川产业基金管理有限公司	8000.00	新进	13.85	新进	流通A股
厦门盛芯材料产业投资基金合伙企业(有限合伙)	1750.00	新进	3.03	新进	流通A股
中电科投资控股有限公司	1158.30	新进	2.00	新进	流通A股
中保投资有限责任公司－中国保险投资基金(有限合伙)	946.29	新进	1.64	新进	流通A股
浙江制造基金合伙企业(有限合伙)	700.87	新进	1.21	新进	流通A股
中芯聚源私募基金管理(上海)有限公司－上海聚源聚芯集成电路产业股权投资基金中心(有限合伙)	600.00	新进	1.04	新进	流通A股
上海硅产业集团股份有限公司	579.15	新进	1.00	新进	流通A股
盛美半导体设备(上海)股份有限公司	579.15	新进	1.00	新进	流通A股
国泰君安证券资管－招商银行－国泰君安君享科创板中巨芯1号战略配售集合资产管理计划	534.72	新进	0.93	新进	流通A股