累计持有：8611.62万股，累计占流通股本比50.57%，较上期变化： -126.73万股 ，占比变化： -0.74%

股东名称	持有数量 (万股)	持股变化 (万股)	占流通股本比例(%)	占比变化(%)	股份类型
更多亮照明有限公司	3700.36	未变	21.73	未变	流通A股
矽康半导体科技(上海)有限公司	3555.03	未变	20.87	未变	流通A股
北京航天科工军民融合科技成果转化创业投资基金(有限合伙)	473.00	未变	2.78	未变	流通A股
温州晶励企业管理合伙企业(有限合伙)	287.37	未变	1.69	未变	流通A股
全国社保基金六零一组合	144.32	新进	0.85	新进	流通A股
广发证券股份有限公司－国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	107.54	新进	0.63	新进	流通A股
上海睿郡资产管理有限公司－睿郡有孚1号私募证券投资基金	94.98	未变	0.56	未变	流通A股
闫浩	90.49	新进	0.53	新进	流通A股
上海睿郡资产管理有限公司－睿郡有孚3号私募证券投资基金	81.43	未变	0.48	未变	流通A股
长江证券股份有限公司－华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金	77.10	新进	0.45	新进	流通A股

累计持有：8738.35万股，累计占流通股本比51.31%，较上期变化： -186.05万股 ，占比变化： -1.09%

累计持有：8924.40万股，累计占流通股本比52.40%，较上期变化： -96.88万股 ，占比变化： -0.57%

股东名称	持有数量 (万股)	持股变化 (万股)	占流通股本比例(%)	占比变化(%)	股份类型
更多亮照明有限公司	3700.36	未变	21.73	未变	流通A股
矽康半导体科技(上海)有限公司	3555.03	未变	20.87	未变	流通A股
北京航天科工军民融合科技成果转化创业投资基金(有限合伙)	764.17	未变	4.49	未变	流通A股
温州晶励企业管理合伙企业(有限合伙)	287.37	未变	1.69	未变	流通A股
626投资控股有限公司	233.90	未变	1.37	未变	流通A股
上海睿郡资产管理有限公司－睿郡有孚1号私募证券投资基金	94.98	7.37	0.56	0.05	流通A股
上海睿郡资产管理有限公司－睿郡有孚3号私募证券投资基金	81.43	新进	0.48	新进	流通A股
王进平	80.00	8.06	0.47	0.05	流通A股
北京恒德时代私募基金管理有限公司－恒德锦绣1号私募证券投资基金	69.16	新进	0.41	新进	流通A股
马焕文	58.00	新进	0.34	新进	流通A股

累计持有：9021.28万股，累计占流通股本比52.97%，较上期变化： -137.69万股 ，占比变化： -0.81%

累计持有：9158.97万股，累计占流通股本比53.78%，较上期变化： -69.13万股 ，占比变化： -0.41%