| 公告日期 | 股东名称 | 变动数量(万股) | 占流通股比(%) | 均价(元) | 变动后持股(万股) | 变动日期 | 变动途径 |
|---|
| 2025-10-23 | 孟亮 | -0.65 | 0.0023 | 245.5000 | 0.83 | 2025.10.23 | 二级市场 |
| 2025-10-09 | 邓浩 | -0.60 | 0.0021 | 281.2080 | 0.82 | 2025.10.09 | 二级市场 |
| 2025-10-09 | 杨家岭 | -0.70 | 0.0025 | 272.0000 | 2.97 | 2025.10.09 | 二级市场 |
| 2025-09-30 | 陈新益 | -0.52 | 0.0019 | 272.0100 | 3.06 | 2025.09.30 | 二级市场 |
| 2025-09-26 | 邓浩 | 1.42 | 0.0051 | 94.0900 | 1.42 | 2025.09.25 | 其他 |
| 2025-09-26 | 杨家岭 | 3.67 | 0.0131 | 94.0900 | 3.67 | 2025.09.25 | 其他 |
| 2025-09-26 | 孟亮 | 1.48 | 0.0053 | 94.0900 | 1.48 | 2025.09.25 | 其他 |
| 2025-09-24 | 宁建平 | -0.16 | 0.0006 | 227.5820 | 2.88 | 2025.09.24 | 二级市场 |
| 2025-09-24 | 赵曦 | -0.20 | 0.0007 | 235.0000 | 4.83 | 2025.09.24 | 二级市场 |
| 2025-09-24 | 陈新益 | -0.50 | 0.0018 | 255.4700 | 3.58 | 2025.09.24 | 二级市场 |
| 2025-09-23 | 牛新平 | -0.80 | 0.0029 | 225.2500 | 2.49 | 2025.09.23 | 二级市场 |
| 2025-09-24 | 宁建平 | -0.30 | 0.0011 | 226.6670 | 3.03 | 2025.09.23 | 二级市场 |
| 2025-09-23 | 赵曦 | -0.30 | 0.0011 | 229.6670 | 5.03 | 2025.09.23 | 二级市场 |
| 2025-09-22 | 刘静 | -3.00 | 0.0107 | 217.7050 | 9.05 | 2025.09.22 | 二级市场 |
| 2025-09-22 | 宁建平 | -0.30 | 0.0011 | 218.2000 | 3.33 | 2025.09.22 | 二级市场 |
| 2025-09-22 | 许龙旭 | -0.99 | 0.0035 | 222.0000 | 2.96 | 2025.09.22 | 二级市场 |
| 2025-09-22 | 赵曦 | -0.50 | 0.0018 | 218.2400 | 5.33 | 2025.09.22 | 二级市场 |
| 2025-09-22 | 宁建平 | -0.20 | 0.0007 | 216.9000 | 3.63 | 2025.09.19 | 二级市场 |
| 2025-09-22 | 杨小强 | -0.29 | 0.0010 | 214.9870 | 0.87 | 2025.09.19 | 二级市场 |
| 2025-09-22 | 赵曦 | -0.60 | 0.0021 | 217.8460 | 5.83 | 2025.09.19 | 二级市场 |
| 2025-09-18 | 邓浩 | -0.20 | 0.0007 | 209.5000 | 0.00 | 2025.09.18 | 二级市场 |
| 2025-09-15 | 邓浩 | -0.40 | 0.0014 | 190.5000 | 0.20 | 2025.09.15 | 二级市场 |
| 2025-01-09 | 邓浩 | 0.55 | 0.0036 | 47.5800 | 0.60 | 2025.01.08 | 其他 |
| 2025-01-09 | 陈新益 | 2.19 | 0.0142 | 47.5800 | 4.08 | 2025.01.08 | 其他 |
| 2025-01-09 | 刘静 | 6.02 | 0.0392 | 47.5800 | 12.05 | 2025.01.08 | 其他 |
| 2025-01-09 | 宁建平 | 2.19 | 0.0142 | 47.5800 | 3.83 | 2025.01.08 | 其他 |
| 2025-01-09 | 杨小强 | 0.66 | 0.0043 | 47.5800 | 1.15 | 2025.01.08 | 其他 |
| 2025-01-09 | 牛新平 | 1.64 | 0.0107 | 47.5800 | 3.29 | 2025.01.08 | 其他 |
| 2025-01-09 | 许龙旭 | 1.97 | 0.0128 | 47.5800 | 3.94 | 2025.01.08 | 二级市场 |
| 2025-01-09 | 赵曦 | 3.56 | 0.0231 | 47.5800 | 6.43 | 2025.01.08 | 其他 |
| 2024-10-15 | 张孝勇 | -6.02 | 0.0392 | 133.9225 | 32.86 | 2024.07.15-2024.10.14 | 二级市场 |
| 2024-10-09 | 赵曦 | -0.34 | 0.0022 | 179.3400 | 2.87 | 2024.10.09 | 二级市场 |
| 2024-10-08 | 陈新益 | -0.10 | 0.0007 | 172.0000 | 1.89 | 2024.10.08 | 二级市场 |
| 2024-10-08 | 赵曦 | -0.05 | 0.0003 | 172.7000 | 3.21 | 2024.10.08 | 二级市场 |
| 2024-10-08 | 杨小强 | -0.16 | 0.0010 | 172.8000 | 0.50 | 2024.10.08 | 二级市场 |
| 2024-09-30 | 宁建平 | -0.55 | 0.0036 | 140.0800 | 1.64 | 2024.09.30 | 二级市场 |
| 2024-09-30 | 赵曦 | -0.30 | 0.0020 | 137.5000 | 3.26 | 2024.09.30 | 二级市场 |
| 2024-09-30 | 陈新益 | -0.20 | 0.0013 | 134.5830 | 1.99 | 2024.09.30 | 二级市场 |
| 2024-06-12 | 周坚 | 0.98 | 0.0094 | 未披露 | 3.01 | 2024.06.07 | 其他 |
| 2024-06-12 | 张孝勇 | 12.61 | 0.1212 | 未披露 | 38.88 | 2024.06.07 | 其他 |
| 2023-12-29 | 宁建平 | 1.48 | 0.0144 | 70.7700 | 1.48 | 2023.12.28 | 其他 |
| 2023-12-29 | 赵曦 | 2.41 | 0.0233 | 70.7700 | 2.41 | 2023.12.28 | 其他 |
| 2023-12-29 | 孙丽杰 | 3.15 | 0.0305 | 70.7700 | 3.15 | 2023.12.28 | 其他 |
| 2023-12-29 | 陈新益 | 1.48 | 0.0144 | 70.7700 | 1.48 | 2023.12.28 | 其他 |
| 2023-12-29 | 周坚 | 2.04 | 0.0197 | 70.7700 | 2.04 | 2023.12.28 | 其他 |
| 2023-12-29 | 张孝勇 | 4.07 | 0.0395 | 70.7700 | 26.27 | 2023.12.28 | 其他 |
| 2023-12-29 | 刘静 | 4.07 | 0.0395 | 70.7700 | 4.07 | 2023.12.28 | 其他 |
| 2023-12-29 | 杨小强 | 0.44 | 0.0043 | 70.7700 | 0.44 | 2023.12.28 | 其他 |
| 2023-10-12 | 吕光泉 | 24.00 | 0.3446 | 未披露 | 74.00 | 2023.09.27 | 其他 |
| 2023-10-12 | 张孝勇 | 7.20 | 0.1034 | 未披露 | 22.20 | 2023.09.27 | 其他 |
| 2023-08-19 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 | -54.66 | 0.7848 | 未披露 | 936.65 | 2023.05.27-2023.08.16 | 二级市场 |
| 2023-06-15 | 嘉兴君励及其一致行动人 | -52.87 | 0.7656 | 未披露 | 286.70 | 2023.06.03-2023.06.13 | 二级市场 |
| 2023-06-03 | 嘉兴君励及其一致行动人 | -162.64 | 2.3549 | 未披露 | 339.57 | 2023.05.08-2023.06.02 | 二级市场,大宗交易平台 |
| 2023-05-30 | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 | -70.95 | 1.0273 | 409.3357 | 991.31 | 2023.05.17-2023.05.26 | 二级市场 |
| 2023-06-03 | 嘉兴君励及其一致行动人 | -349.00 | 5.0534 | 未披露 | 502.21 | 2023.04.27 | 其他 |
