10月29日，中微公司(688012)公布2025年三季报，公司营业收入为80.6亿元，同比上升46.4%；归母净利润为12.1亿元，同比上升32.7%；扣非归母净利润为8.87亿元，同比上升9.1%；经营现金流净额为12.98亿元，同比增长385.2%；EPS(全面摊薄)为1.9344元。

　　其中第三季度，公司营业收入为31.0亿元，同比上升50.6%；归母净利润为5.05亿元，同比上升27.5%；扣非归母净利润为3.48亿元，同比上升5.5%；EPS为0.807元。

　　截至三季度末，公司总资产297.87亿元，较上年度末增长13.6%；归母净资产为214.72亿元，较上年度末增长8.8%。

　　公司主要业务包括刻蚀设备、薄膜设备（如LPCVD和ALD）、以及硅和锗硅外延EPI设备等，均实现了良好的市场表现。

　　在刻蚀设备方面，公司针对先进逻辑和存储器件制造的高端产品付运量显著提升，特别是60比1超高深宽比介质刻蚀设备已成为国内标配。公司在ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备的开发上也取得了良好进展，产品的加工精度和重复性达到了单原子水平。同时，公司研发支出显著增加，2025年前三季度研发支出为25.23亿元，占营业收入的比例为31.29%，表明公司持续加大对技术创新的投入。

　　此外，公司在泛半导体设备领域也在积极开发更多化合物半导体外延设备，并已顺利付运至客户进行量产验证，获得了客户的高度认可。整体来看，公司在新产品的研发速度上显著加快，预计未来将会有更多新产品进入市场。

（文章来源：财中社）