投资者提问：
请问至期光子和物构所合作的面向深紫外精密光学的原子层沉积装备研制与工艺开发是开发深紫外光学元件原子层沉积设备和镀膜工艺吗？
董秘回答(福晶科技SZ002222)：
尊敬的投资者，您好！涉及工艺或技术秘密的问题不便回复。感谢您的理解！
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