投资者提问：
请问贵公司拥有17项光刻机专利，这些专利技术主要服务于光刻机的子系统，而非光刻机的整机研发吗？
董秘回答(矽电股份SZ301629)：
尊敬的投资者您好，相关专利技术已应用于公司曝光机生产，该产品主要应用于二极管、可控硅、MOSFET等功率半导体关键领域的晶圆曝光。感谢您的关注与支持。
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