投资者提问:
董秘您好!提问以下两个问题:1.公司收购苏州铠欣超高纯碳化硅套件中,8 英寸非渗硅套件是否已实现批量交付?12 英寸渗硅套件的验证进度(如核心部件是否全部通过客户测试)?2.苏州铠欣的 CVD 碳化硅涂层产品(刻蚀环、喷淋头、SiC 外延用石墨基座等)目前在 SiC/GaN 外延设备领域的规模化应用情况如何?是否新增设备厂商客户?
董秘回答(珂玛科技SZ301611):
尊敬的投资者您好!公司超高纯碳化硅套件已小批量出货,6英寸非渗硅套件通过北方华创及Fab端验证并取得多套批量订单,8英寸非渗硅套件通过北方华创验证,正在Fab端推广,12英寸渗硅套件部分部件,例如Cap、隔热片等已通过北方华创验证,其他部件例如晶舟等尚在验证中。截至目前,苏州铠欣产品已经在Si外延、SiC外延、GaN外延等领域实现规模化应用,碳化硅刻蚀环、碳化硅喷淋头、12吋Si外延用碳化硅涂层石墨基座等产品进展良好。感谢您的关注!
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