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投资者提问:清华大学化学系许华平教授团队在极紫外(EUV)光刻材料上取得重...

时间:2025年10月09日 16:26

投资者提问:

清华大学化学系许华平教授团队在极紫外(EUV)光刻材料上取得重要进展,开发出一种基于聚碲氧烷的新型光刻胶。该光刻胶以单组分分子结构突破传统光刻胶无法兼顾灵敏度、分辨率与低缺陷的全球性难题,请问公司是否与许华平教授有合作?为了是否考虑生产此产品?

董秘回答(上海新阳(维权)SZ300236):

尊敬的投资者:你好!感谢您的关注。公司与许教授没有合作。

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