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日前，深圳清溢光电股份有限公司（以下简称“清溢光电”）“平板显示及半导体用掩膜版”佛山生产基地项目投产仪式在南海区丹灶镇隆重举行。

2024年，清溢光电启动投资人民币35亿元建设佛山生产基地项目，包括高精度掩膜版生产基地、高端半导体掩膜版生产基地。2025年11月，清溢光电佛山高端半导体掩膜版生产基地引入佛山第一台电子束光刻机，电子束光刻机是制造尖端半导体掩膜版的“王牌”设备，它的入驻正式开启了佛山高端半导体用掩膜版的制造历史，未来将向28nm目标发起冲击。

清溢光电是国内成立最早、规模最大的掩膜版生产企业之一，公司产品曾多次打破国外垄断、填补国内空白，在我国掩膜版产业中处于领军地位。在其佛山生产基地中，高精度掩膜版生产基地建设项目主要生产8.6代及以下高精度FPD掩膜版，应用于a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO、MicroLED等平板显示掩膜版产品，特别是应对AMOLED用高精度掩膜版的需求（含建设中的8.6代AMOLED），填补国内空白，实现高端掩膜版的国产化替代。项目建成投产后，可进一步提升高精度平板显示掩膜版国产化程度及配套水平。