内容概况：半导体流量计作为半导体制造过程中的关键部件，广泛应用于气体与液体流量的精确控制。随着中国半导体产业的快速发展，芯片制造、封装测试等环节持续扩张，对高精度、高性能半导体流量计的需求不断增加。2024年，中国半导体流量计行业市场规模为12.3亿元，同比增长9.82%。

相关上市企业：川仪股份（603100）

相关企业：广东奥迪威传感科技股份有限公司、北京志鸿恒拓科技有限公司、上海菱联自动化控制技术有限公司、重庆川仪自动化股份有限公司、晶晨半导体（上海）股份有限公司、紫光国芯微电子股份有限公司、中科寒武纪科技股份有限公司、海光信息技术股份有限公司、大洋电机新动力科技有限公司、上海电驱动股份有限公司、北方华创科技集团股份有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、拓荆科技股份有限公司、沈阳芯源微电子设备股份有限公司

关键词：半导体流量计、半导体流量计市场规模、半导体流量计行业现状、半导体流量计发展趋势

一、行业概述

半导体流量计是专为半导体制造设计的高精度流量测量与控制设备，用于监测和调节半导体工艺中液体或气体的线性/非线性、质量/体积流量。其核心特点是高精度（±0.5%FS以上）、耐腐蚀、宽量程（覆盖sccm至slm级）、快速响应（毫秒级），适配半导体行业对流体纯净度（如5N/6N级气体）和工艺稳定性的严苛要求。典型应用场景包括沉积、蚀刻、离子注入、清洗、CMP（化学机械抛光）等设备，以及气体供应系统、立式炉/卧式炉等。

二、行业产业链

半导体流量计行业产业链上游主要包括传感器（如加热元件、温度传感器、压差式传感器、超声波传感器、科里奥利传感器等）、控制与执行模块（如微处理器、算法芯片、驱动电路、氟橡胶、PTFE密封圈，真空泵、过滤器等）、结构与外壳（如铝合金、不锈钢、陶瓷、高纯度石英玻璃等）等。产业链中游为半导体流量计生产制造环节。产业链下游主要应用于半导体制造设备中，如沉积设备、蚀刻设备、立式炉/卧式炉/RTP等。

随着工业自动化、智能制造的推进，对于高精度、高性能传感器的需求不断增加。压力传感器作为其中的关键部件，在汽车制造、航空航天、石油化工等多个领域都有着广泛的应用，市场需求的持续释放推动了行业规模的扩大。2024年，中国压力传感器行业市场规模为714.2亿元，同比增长9.79%。在半导体制造中，压力传感器通过精准监测工艺气体压力、控制沉积/蚀刻环境，直接保障芯片良率。例如，热式质量流量控制器（MFC）依赖压力传感器实现±0.5%FS的流量精度，适配sccm级气体调控；压差式流量计则通过层流压差与流量线性关系，适配大流量腐蚀性气体（如Cl₂、NF₃）输送。此外，压力传感器在半导体设备状态监控、安全系统及环境控制中发挥关键作用，如维持洁净室气压稳定、监测气体泄漏等。

集成电路作为现代科技的核心部件，广泛应用于智能手机、电脑、汽车电子、物联网等多个领域。随着5G通信、人工智能、大数据等新兴技术的快速发展，市场对集成电路的需求持续攀升。特别是在5G智能手机的普及和物联网设备的广泛应用的推动下，集成电路的需求量大幅增加，这为中国集成电路产业的增长提供了广阔的市场空间。2025年1-8月，中国集成电路产量为3429.1亿块，同比增长20.53%。而在半导体制造过程中，气体与液体流量的精确控制至关重要，这使得半导体流量计成为制造设备中不可或缺的关键部件。随着集成电路产量的大幅增加，对半导体流量计的需求也相应增长。

注：本文节选出自智研咨询发布的《研判2025！中国半导体流量计行业产业链、市场规模及重点企业分析：行业发展支撑中国芯片精密制造，驱动半导体产业工艺升级[图]》行业分析文章，如需获取行业文章全部内容，可进入智研咨询搜索查看。

由智研咨询专家团队精心编制的《中国半导体流量计行业市场动态分析及投资趋势研判报告》（以下简称《报告》）重磅发布，《报告》旨在从国家经济及产业发展的战略入手，分析半导体流量计行业未来的市场走向，挖掘半导体流量计行业的发展潜力，预测半导体流量计行业的发展前景，助力半导体流量计行业的高质量发展。

本《报告》从2025年全国半导体流量计行业发展环境、整体运行态势、运行现状、进出口、竞争格局等角度进行入手，系统、客观的对我国半导体流量计行业发展运行进行了深度剖析，展望2025年中国半导体流量计行业发展趋势。《报告》是系统分析2025年度中国半导体流量计行业发展状况的著作，对于全面了解中国半导体流量计行业的发展状况、开展与半导体流量计行业发展相关的学术研究和实践，具有重要的借鉴价值，可供从事半导体流量计行业相关的政府部门、科研机构、产业企业等相关人员阅读参考。

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