截至10月13日收盘，光刻机概念上涨3.20%，位居概念板块涨幅第3，板块内，32股上涨，新莱应材（维权）20%涨停，旭光电子、凯美特气、*ST和科等涨停，江丰电子、富创精密、国林科技等涨幅居前，分别上涨14.54%、13.50%、13.39%。跌幅居前的有蓝特光学、大族激光、腾景科技等，分别下跌5.01%、3.72%、3.00%。
今日涨跌幅居前的概念板块
| 概念 | 今日涨跌幅（%） | 概念 | 今日涨跌幅（%） |
|---|---|---|---|
| 稀土永磁 | 6.92 | 同花顺果指数 | -3.67 |
| 兵装重组概念 | 3.51 | 短剧游戏 | -2.02 |
| 光刻机 | 3.20 | 减速器 | -2.01 |
| 国家大基金持股 | 3.18 | AI PC | -1.89 |
| 中芯国际概念 | 3.03 | 汽车热管理 | -1.86 |
| 2025三季报预增 | 2.98 | 小米汽车 | -1.80 |
| 金属钴 | 2.91 | 同花顺出海50 | -1.73 |
| 超导概念 | 2.87 | Sora概念(文生视频) | -1.68 |
| 金属铅 | 2.83 | POE胶膜 | -1.66 |
| 光刻胶 | 2.76 | 青蒿素 | -1.61 |
资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入0.81亿元，其中，19股获主力资金净流入，5股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是凯美特气，今日主力资金净流入2.52亿元，净流入资金居前的还有富创精密、旭光电子、波长光电等，主力资金分别净流入1.36亿元、9994.69万元、8793.53万元。
资金流入比率方面，富创精密、凯美特气、南京化纤等流入比率居前，主力资金净流入率分别为9.70%、9.58%、8.95%。（数据宝）
光刻机概念资金流入榜
| 代码 | 简称 | 今日涨跌幅（%） | 今日换手率（%） | 主力资金流量（万元） | 主力资金净流入比率（%） |
|---|---|---|---|---|---|
| 002549 | 凯美特气 | 9.98 | 14.09 | 25187.16 | 9.58 |
| 688409 | 富创精密 | 13.50 | 5.27 | 13553.41 | 9.70 |
| 600353 | 旭光电子 | 10.02 | 11.55 | 9994.69 | 5.24 |
| 301421 | 波长光电 | 12.12 | 41.04 | 8793.53 | 3.72 |
| 688502 | 茂莱光学 | 3.85 | 9.63 | 5554.39 | 8.11 |
| 300293 | 蓝英装备 | 4.80 | 13.59 | 4926.28 | 4.88 |
| 300260 | 新莱应材 | 20.00 | 14.83 | 4441.77 | 1.64 |
| 300786 | 国林科技 | 13.39 | 33.07 | 3722.49 | 3.64 |
| 603297 | 永新光学 | 4.07 | 5.01 | 2978.67 | 4.60 |
| 600889 | 南京化纤 | 1.61 | 4.68 | 2538.81 | 8.95 |
| 688127 | 蓝特光学 | -5.01 | 2.36 | 1069.36 | 3.58 |
| 300809 | 华辰装备 | 0.22 | 4.17 | 911.60 | 3.55 |
| 300414 | 中光防雷 | 3.47 | 9.16 | 871.50 | 2.40 |
| 603800 | 洪田股份 | 3.65 | 3.72 | 481.34 | 1.26 |
| 301209 | 联合化学 | -0.35 | 2.61 | 456.41 | 1.45 |
| 300219 | 鸿利智汇 | 0.00 | 3.31 | 185.55 | 1.11 |
| 688079 | 美迪凯 | -0.43 | 2.55 | 136.88 | 0.98 |
| 688167 | 炬光科技 | 3.76 | 5.99 | 129.14 | 0.16 |
| 002816 | *ST和科 | 5.00 | 4.93 | 51.43 | 0.48 |
| 300691 | 联合光电 | -1.22 | 4.14 | -143.46 | -0.86 |
| 603738 | 泰晶科技 | 0.33 | 2.91 | -219.67 | -1.30 |
| 002889 | 东方嘉盛 | -0.71 | 1.30 | -349.45 | -7.04 |
| 301568 | 思泰克 | -0.82 | 5.58 | -407.13 | -3.37 |
| 003031 | 中瓷电子 | 2.32 | 1.18 | -408.94 | -1.70 |
| 688307 | 中润光学 | 3.00 | 7.74 | -458.49 | -2.80 |
| 300990 | 同飞股份 | -1.78 | 4.81 | -515.73 | -1.88 |
| 688376 | 美埃科技 | 3.60 | 6.33 | -533.62 | -3.28 |
| 003043 | 华亚智能 | 0.10 | 2.24 | -582.63 | -6.47 |
| 688199 | 久日新材 | -1.02 | 4.30 | -703.27 | -3.76 |
| 300331 | 苏大维格 | 5.69 | 11.88 | -913.73 | -1.07 |
| 600850 | 电科数字 | 0.17 | 2.45 | -1293.98 | -2.64 |
| 603360 | 百傲化学 | 1.64 | 4.06 | -1349.01 | -1.69 |
| 301611 | 珂玛科技 | 4.50 | 10.97 | -1513.31 | -1.47 |
| 688146 | 中船特气 | 2.03 | 4.94 | -2016.60 | -6.52 |
| 688268 | 华特气体 | 12.52 | 9.30 | -2182.11 | -2.65 |
| 300456 | 赛微电子 | 4.50 | 7.76 | -2471.28 | -2.18 |
| 688605 | 先锋精科 | 0.00 | 22.09 | -2711.44 | -3.75 |
| 603773 | 沃格光电 | -2.03 | 3.80 | -2746.70 | -10.06 |
| 301297 | 富乐德 | 3.75 | 10.71 | -3053.38 | -4.71 |
| 300666 | 江丰电子 | 14.54 | 20.46 | -3075.55 | -0.63 |
| 002008 | 大族激光 | -3.72 | 4.54 | -4423.43 | -2.75 |
| 301095 | 广立微 | 3.51 | 6.81 | -5560.54 | -5.17 |
| 688195 | 腾景科技 | -3.00 | 6.04 | -5725.30 | -7.13 |
| 603005 | 晶方科技 | 1.80 | 8.40 | -7216.37 | -4.15 |
| 600619 | 海立股份 | -2.16 | 6.00 | -9000.08 | -8.33 |
| 600895 | 张江高科 | 0.83 | 6.56 | -9032.04 | -1.80 |
| 688630 | 芯碁微装 | -1.64 | 4.03 | -9274.61 | -13.09 |
