截至9月19日收盘，光刻机概念上涨2.09%，位居概念板块涨幅第1，板块内，27股上涨，凯美特气、永新光学、海立股份等涨停，腾景科技、波长光电、华亚智能等涨幅居前，分别上涨14.94%、14.60%、6.15%。跌幅居前的有广立微、芯碁微装、同飞股份等，分别下跌4.44%、3.54%、2.40%。
今日涨跌幅居前的概念板块
| 概念 | 今日涨跌幅（%） | 概念 | 今日涨跌幅（%） |
|---|---|---|---|
| 光刻机 | 2.09 | 减速器 | -2.68 |
| 民爆概念 | 1.70 | PEEK材料 | -2.65 |
| 盐湖提锂 | 1.11 | 人形机器人 | -2.17 |
| 雅下水电概念 | 1.01 | 工业母机 | -2.11 |
| 金属钴 | 0.93 | 特斯拉概念 | -1.94 |
| 航运概念 | 0.83 | 天津自贸区 | -1.87 |
| 赛马概念 | 0.82 | 汽车拆解概念 | -1.87 |
| 新疆振兴 | 0.78 | 华为汽车 | -1.87 |
| 光刻胶 | 0.77 | 芬太尼 | -1.74 |
| 俄乌冲突概念 | 0.76 | 两轮车 | -1.71 |
资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入16.87亿元，其中，21股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超5000万元，净流入资金居首的是海立股份，今日主力资金净流入7.92亿元，净流入资金居前的还有凯美特气、波长光电、新莱应材（维权）等，主力资金分别净流入6.70亿元、2.09亿元、9907.64万元。
资金流入比率方面，凯美特气、海立股份、波长光电等流入比率居前，主力资金净流入率分别为24.35%、23.47%、7.99%。（数据宝）
光刻机概念资金流入榜
| 代码 | 简称 | 今日涨跌幅（%） | 今日换手率（%） | 主力资金流量（万元） | 主力资金净流入比率（%） |
|---|---|---|---|---|---|
| 600619 | 海立股份 | 9.98 | 17.38 | 79182.87 | 23.47 |
| 002549 | 凯美特气 | 10.02 | 19.85 | 67007.86 | 24.35 |
| 301421 | 波长光电 | 14.60 | 53.62 | 20856.94 | 7.99 |
| 300260 | 新莱应材 | 4.87 | 18.78 | 9907.64 | 4.42 |
| 688167 | 炬光科技 | -1.09 | 9.73 | 7477.53 | 4.77 |
| 300293 | 蓝英装备 | 3.11 | 12.10 | 5852.47 | 6.80 |
| 603005 | 晶方科技 | 1.80 | 7.66 | 4573.29 | 2.90 |
| 600850 | 电科数字 | 2.85 | 4.20 | 4115.99 | 5.37 |
| 300219 | 鸿利智汇 | 3.54 | 13.15 | 3741.61 | 5.16 |
| 688195 | 腾景科技 | 14.94 | 11.74 | 3330.38 | 1.72 |
| 688409 | 富创精密 | 0.64 | 4.03 | 3058.43 | 6.59 |
| 301611 | 珂玛科技 | 0.96 | 5.60 | 2088.94 | 4.64 |
| 600895 | 张江高科 | 1.04 | 7.00 | 1669.10 | 0.40 |
| 300786 | 国林科技 | 0.74 | 11.56 | 1634.13 | 5.87 |
| 688268 | 华特气体 | 1.17 | 3.99 | 1318.79 | 4.68 |
| 688307 | 中润光学 | 0.14 | 9.59 | 1056.41 | 5.25 |
| 300691 | 联合光电 | 1.07 | 6.30 | 845.94 | 3.08 |
| 002889 | 东方嘉盛 | 2.25 | 3.26 | 693.12 | 5.33 |
| 603738 | 泰晶科技 | -0.13 | 2.77 | 239.32 | 1.43 |
| 301095 | 广立微 | -4.44 | 4.43 | 96.41 | 0.15 |
| 300414 | 中光防雷 | -0.56 | 2.91 | 20.25 | 0.18 |
| 688376 | 美埃科技 | 1.97 | 8.25 | -6.75 | -0.03 |
| 301209 | 联合化学 | -0.55 | 0.65 | -172.80 | -3.23 |
| 002816 | *ST和科 | -0.69 | 2.04 | -180.69 | -4.78 |
| 301568 | 思泰克 | -1.43 | 9.73 | -532.56 | -2.29 |
| 003031 | 中瓷电子 | 0.78 | 1.18 | -537.35 | -2.24 |
| 688146 | 中船特气 | 2.30 | 7.09 | -553.21 | -1.24 |
| 688605 | 先锋精科 | -0.37 | 10.83 | -847.91 | -2.96 |
| 603360 | 百傲化学 | 5.90 | 4.88 | -907.44 | -0.99 |
| 603773 | 沃格光电 | -0.69 | 4.07 | -1060.49 | -3.61 |
| 301297 | 富乐德 | -0.50 | 7.56 | -1339.90 | -3.00 |
| 688630 | 芯碁微装 | -3.54 | 6.63 | -1477.96 | -1.10 |
| 688199 | 久日新材 | -0.68 | 3.45 | -1544.52 | -10.43 |
| 603800 | 洪田股份 | 0.58 | 5.06 | -1815.44 | -3.25 |
| 002008 | 大族激光 | -1.08 | 5.12 | -2440.46 | -1.20 |
| 603297 | 永新光学 | 10.00 | 9.64 | -2976.73 | -2.21 |
| 688502 | 茂莱光学 | 3.93 | 14.79 | -2992.16 | -2.59 |
| 600353 | 旭光电子 | -1.71 | 4.43 | -3650.11 | -5.66 |
| 300990 | 同飞股份 | -2.40 | 5.91 | -3725.31 | -9.90 |
| 300331 | 苏大维格 | 4.34 | 28.58 | -4614.27 | -1.91 |
| 003043 | 华亚智能 | 6.15 | 11.33 | -4729.95 | -9.41 |
| 300456 | 赛微电子 | 0.99 | 13.49 | -5594.73 | -2.61 |
| 300666 | 江丰电子 | -0.99 | 5.86 | -8363.51 | -8.01 |
