（来源：科创100ETF基金）

　　光刻机概念股盘初冲高，中润光学涨停创新高，腾景科技涨超10%，炬光科技、美迪凯、蓝特光学、中瓷电子（003031）、苏大维格（300331）跟涨。相关ETF方面，半导体设备ETF易方达(159558)涨1.07%，成交额2934.79万元，科创半导体ETF(588170)涨1.25%，成交额1.4亿元。