中证报中证网讯(记者黄一灵)10月29日晚，中微公司发布2025年第三季度报告。数据显示，2025年前三季度，中微公司实现营业收入80.63亿元，同比增长约46.40%；实现归母净利润12.11亿元，同比增长约32.66%。拆分营收来看，其中刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%。

研发方面，中微公司2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长约63.44%，研发支出占公司营业收入比例约31.29%。中微公司表示，公司目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三年到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短的时间就能开发出并顺利进入市场，公司有望在未来几年加速、大规模地推出多种新产品。同时，公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。

此外，中国证券报记者获悉，为应对全球半导体设备市场持续增长的需求，随着成都研发及生产基地建设的启动，中微公司未来厂房总面积将达到75万平方米。