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中微公司：前三季度营业收入为80.63亿元，同比增长约46.40%。其中刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%。前三季度净利润为12.11亿元，较去年同期增长约32.66%。

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