投资者提问:
据研究报告,CO2二氧化碳清洗用于精密结构清洗,通常作用于如EUV光刻机的掩模版,去除纳米颗粒。公司是否有研发CO2二氧化碳清洗设备?是否可以作用于euv光刻掩膜板清洗?
董秘回答(国林科技SZ300786):
尊敬的投资者,您好。公司正在积极研发相关设备,目前处于研发阶段,详情请关注公司定期报告。感谢您的关注。
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