本文源自:市场资讯
国家知识产权局信息显示,青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“半导体器件的制造方法”的专利,公开号CN121075917A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体器件的制造方法,在执行第一退火工艺形成高阻相的钴硅化物且将未反应的钴去除之后,将第二退火工艺拆分呈若干次不同温度下的毫秒量级以下的退火处理(即多个高温且短时间的退火处理),且退火温度越高的退火处理的退火时间越短,由此既能保证钴硅化物由高阻相向低阻相转变时所需的退火能量,又能避免现有技术中长时间一次性退火条件下Co、Ge、Si等元素的过度扩散引起钴硅化物出现团簇等缺陷的问题,进而使得钴硅化物和SiGe能够兼容,以此突破钴硅化物在65nm技术节点之后的应用瓶颈。
天眼查资料显示,青岛澳柯玛云联信息技术有限公司,成立于2020年,位于青岛市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业,专利信息85条,此外企业还拥有行政许可4个。
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