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合肥晶合集成申请亚分辨率辅助图形的设置方法专利,改善主图形的曝光效果

时间:2025年12月05日 19:16

本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“亚分辨率辅助图形的设置方法”的专利,公开号CN121069699A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明提供一种亚分辨率辅助图形的设置方法。所述设置方法包括:在将主图形的优化图形外侧能够用于设置辅助图形的区域确定为第一区域,第一区域划分为多个像素,第一区域内的所有像素的初始状态均设置为未写入状态;针对优化图形的关键边界在第一区域内设置初始亚分辨率辅助图形;利用OPC模型计算初始亚分辨率辅助图形的多个像素状态各自对应的评价值,将评价值最小的像素状态对应的图形挑选为优选亚分辨率辅助图形;将优选亚分辨率辅助图形对应的所有像素的状态修改为写入状态。如此设置亚分辨率辅助图形可以改善主图形的曝光效果,增大曝光工艺窗口。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目632次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1444条,此外企业还拥有行政许可22个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

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