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国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“用于基板干法清洗的CO₂循环系统”的专利，公开号CN121054536A，申请日期为2025年9月。专利摘要显示，本申请涉及一种用于基板干法清洗的CO

注：因原文摘要内容不完整，效果部分无法提取，故标题中未包含效果描述；摘要内容按原文提供信息如实输出。

天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目8次，专利信息62条，此外企业还拥有行政许可60个。

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