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芯联集成取得揭膜台面、揭膜工作台及揭膜机台专利,降低晶圆被异物顶裂的风险

时间:2025年12月03日 19:16

本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示,芯联集成电路制造股份有限公司取得一项名为“揭膜台面、揭膜工作台及揭膜机台”的专利,授权公告号CN223612384U,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本实用新型涉及一种揭膜台面、揭膜工作台及揭膜机台;所述揭膜机台通过揭膜工作台承载减薄晶圆;所述揭膜工作台包括底座及揭膜台面;揭膜台面固定在底座上;所述揭膜台面的顶部部分区域下凹,形成下沉区域,揭膜台面上除下沉区域以外的其余区域为中心区域和边缘区域,边缘区域和中心区域上均设置有吸气孔,且中心区域上还设置有供顶销通过的销孔。如此配置,减小了揭膜台面与减薄晶圆的接触面积,也降低了异物掉落和粘黏在揭膜台面的概率,从而降低晶圆被异物顶裂的风险,提高揭膜操作的可靠性和安全性。

天眼查资料显示,芯联集成电路制造股份有限公司,成立于2018年,位于绍兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本704664.1万人民币。通过天眼查大数据分析,芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业,参与招投标项目1720次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息761条,此外企业还拥有行政许可43个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

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