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晶合集成申请改善HCI效应的半导体结构及其制作方法专利,改善器件的热载流子效应

时间:2025年12月03日 09:56

本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“改善HCI效应的半导体结构及其制作方法”的专利,公开号CN121057280A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种改善HCI效应的半导体结构及其制作方法,该方法包括:提供基底,包括依次叠置的半导体衬底、衬底氧化层和硬掩膜层;半导体衬底中形成有与栅极位置相对应的浅沟槽;刻蚀去除衬底氧化层靠近浅沟槽一侧的端部,刻蚀后衬底氧化层靠近浅沟槽一侧的侧面内缩形成凹坑,凹坑开口与硬掩膜层表面相交;填充浅沟槽得到隔离层,衬底氧化层和隔离层于凹坑位置合围形成孔洞;去除硬掩膜层,在孔洞与硬掩膜层相交位置形成缺口,通过缺口使得孔洞与外部环境连通;在衬底氧化层表面沉积形成栅极材料层,沉积时栅极材料沿缺口进入孔洞,填充形成控制栅极体。其制备流程简单,能够改善器件的热载流子效应,延长器件寿命。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目632次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1444条,此外企业还拥有行政许可22个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

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