本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“一种用于晶圆加工的处理液循环系统”的专利，公开号CN121035004A，申请日期为2025年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于晶圆加工的处理液循环系统，包括：调控单元，用于调节处理液的参数，并将处理液转移至工艺腔体；供液装置，与调控单元连通，用于向调控单元供应处理液；回收单元，包括输入管路、暂存容器和输出管路；输入管路的一端与工艺腔体连通，另一端与暂存容器连通，用于将工艺腔体内的处理液转移至暂存容器；输出管路的一端与暂存容器连通，另一端与调控单元连通，用于将暂存容器的处理液转移至调控单元；其中，流经工艺腔体的处理液依次通过输入管路、暂存容器和输出管路后转移至调控单元。本发明能够回收并调控处理液的参数。

天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目8次，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可60个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。