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国家知识产权局信息显示，清华大学、华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置”的专利，公开号CN120998864A，申请日期为2019年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置，晶圆支撑装置包括支撑组件，所述支撑组件移动以水平支撑晶圆；至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置。本发明所述晶圆支撑装置使得支撑辊与晶圆的外缘均匀接触，保证晶圆的可靠支撑，设置在晶圆侧部的清洗刷有效去除晶圆表面的杂物，实现晶圆表面的清洗。

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