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国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司取得一项名为“一种防护装置和化学机械抛光系统”的专利，授权公告号CN 223572856 U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本实用新型公开了一种防护装置和化学机械抛光系统，所述防护装置，用于化学机械抛光系统中抛光盘的防护，其包括环状的主体件并位于抛光盘的外周侧；所述主体件包括：容纳腔，其设置于主体件的内部，用于缓存液体；出液口，其设置于主体件的内侧并与所述容纳腔相连通；所述容纳腔的液体经由出液口流向所述主体件的内侧壁，以实现主体件内侧壁的保湿。

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