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华海清科取得抛光防护装置和化学机械抛光系统专利,可阻隔抛光废液进入升降组件内部

时间:2025年11月22日 14:36

本文源自:市场资讯

国家知识产权局信息显示,华海清科股份有限公司取得一项名为“一种抛光防护装置和化学机械抛光系统”的专利,授权公告号CN 223572864 U,申请日期为2024年12月。专利摘要显示,本实用新型公开了一种抛光防护装置和化学机械抛光系统,所述抛光防护装置包括:环状结构的挡圈,设置于所述抛光盘的外周侧;升降组件,其固定端连接于抛光系统的基座,其移动端连接于所述挡圈,以带动挡圈沿竖向移动;所述升降组件配置有防护套,以阻隔抛光废液进入升降组件的内部。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

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