证券日报网讯 2月27日，至纯科技在互动平台回答投资者提问时表示，公司高阶湿法设备在先进制程领域的验证工作正持续推进中。公司湿法设备在28纳米节点已实现全覆盖，全工艺机台均有订单；在更先进制程节点，公司已取得部分工艺订单，尤其在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等国际厂商垄断的机台领域，交付和验证进度均处于国内领先地位。关于批量生产及交付时间，需结合客户产线验证进度及扩产计划综合确定。公司将持续配合客户需求，积极推进设备验证与交付工作。

（编辑 丛可心）