英诺激光 301012调研信息：

高功率薄片超快激光器以其大能量、窄脉宽、高重复频率、高峰值功率和高平均功率等优势，适用于航空航天、半导体、新型显示、新能源、汽车、碳纤维、机器人、生物医疗、科学研究等多领域。其中，在超精密加工领域，该激光器可实现高效加工，有效减少飞屑毛刺、提升生产效率；在半导体领域，大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术；在前沿科学领域，薄片激光技术是实现高平均功率阿秒驱动脉冲的有效手段，为阿秒技术走向商用提供了有效路径；在新型显示等其他高端加工场景，高功率、大脉冲能量的紫外、深紫外薄片激光器将以更好的稳定性和更优的成本替代目前尚需进口的准分子激光器。