电子束检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一。它深度参与光刻环节，对制程节点敏感，对最终产线良率起到至关重要的作用。其核心模块为电子光学系统（EOS），决定设备的成像精度和质量，进而决定设备的性能。
钢研纳克(SZ300797) ：纳克微束的产品线涵盖了高分辨场发射扫描电镜、高通量（场发射）扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束、电子束曝光机、半导体电子束检测等。
注：此文仅代表作者观点
电子束检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一。它深度参与光刻环节，对制程节点敏感，对最终产线良率起到至关重要的作用。其核心模块为电子光学系统（EOS），决定设备的成像精度和质量，进而决定设备的性能。
钢研纳克(SZ300797) ：纳克微束的产品线涵盖了高分辨场发射扫描电镜、高通量（场发射）扫描电镜、透射电镜、聚焦离子束、电子束曝光机、半导体电子束检测等。