天准科技(SH688003)
天准科技现已形成覆盖全工艺节点的明场缺陷检测产品矩阵，包含TB1000/TB1100（65-180nm）、TB1500（55/40nm）与TB2000（28/14nm）三大系列；精准匹配不同技术节点，满足逻辑芯片、存储芯片等多元化制程的缺陷检测需求。基于“自主研发+海外并购+生态投资”的发展战略闭环，公司已相继攻克晶圆微观缺陷检测、套刻精度量测、关键尺寸量测及掩膜量测等核心技术，形成贯穿晶圆制造、掩膜生产到封装测试的全流程量检测方案集群。