在半导体制造业，AMHS是Automatic Material Handling System（自动物料搬运系统）的缩写，一般特指在洁净室环境下，通过软件控制与调度，实现物料在生产线工序间自动搬运、缓冲存放的系统。
AMHS不是普通的搬运设备，而是半导体工厂物流自动化的核心支柱。它包含硬件和软件两大部分，硬件有空中轨道、搬运车辆、存储设备等，软件则包括控制调度系统和物料管理系统。随着半导体制造从6英寸晶圆向8英寸、12英寸发展，晶圆尺寸增大，重量也随之增加。12英寸晶圆厂由此成为AMHS广泛应用的起点。传统人工搬运方式已无法满足现代半导体制造对效率和洁净度的苛刻要求。AMHS在12寸FAB厂已成为智能制造的标配。
根据SEMI统计，截至2024年末，全球共有193条12英寸量产晶圆厂。中国大陆地区上一轮晶圆厂产能扩张基本为12英寸产线，截至2024年末，中国大陆地区有62座12英寸量产晶圆厂（包含西安三星、无锡SK海力士、南京台积电等外资晶圆厂），预计2026年中国大陆地区12英寸晶圆厂量产数量超过70座，将对AMHS系统带来较大的需求。出货端，全球市场12英寸硅片的出货面积占比从2018年的63.83%增长至2024年的76.30%，已成为市场绝对主流，且预计未来12英寸硅片出货面积占比将进一步提升。
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