亚威股份（002559）子公司威迈芯材实现了在高端半导体光刻胶（ArF/ArFi）核心原料光酸PAG的产业化突破，ArF/ArFi光刻胶中的核心原料——光致产酸剂（PAG）的国产化，现有的国内客户已覆盖国内各大主流光刻胶企业，累计向数十家客户交付50余款PAG产品，ArF/KrF PAG等主力产品在中国市场已经实现累计百公斤稳定批量交付。

威迈投入了大量的研发资源，成功实现ArF/ArFi光刻胶用光酸PAG的自主研发与产业化生产。展望未来，威迈芯材将围绕“打造国内一流、国际领先的半导体材料产业平台”的愿景，深化与国内外客户的合作，加速半导体材料新技术的研发与应用。共同推动中国半导体产业向更高水平迈进，为全球半导体材料领域的发展贡献更多中国智慧和中国方案。

当前，威迈芯材最高端的ArF PAG产品技术水平已达到14nm制程的量产水平，量产产品在纯度、金属杂质等关键性能指标最高已达到PAG: 纯度≥99.5%，单一金杂＜10ppb，总金杂＜50ppb，已突破国家攻关指标。同时，交付给国内下游客户的多款产品已逐步进行量产使用，缩减了下游光刻胶企业国产化的验证周期。