光源系统的半导体龙头：
凯美特气（002549）：国内唯一通过 ASML 子公司 Cymer 及日本 GIGAPHOTON 认证的光刻气供应商，产品纯度达 99.9999%，支撑 KrF/ArF 光刻机光源系统，激光混配气技术打破海外垄断，已应用于中芯国际、长江存储等产线。
福晶科技（002222）：全球最大非线性光学晶体（LBO、BBO）供应商，市占率超 60%，产品用于光刻机激光光源系统，固体激光驱动技术助力国产 EUV 光源研发，参与原型机开发。