波长光电(SZ301421) 波长光电有多个产品在国内具有唯一性：
DUV光刻机投影物镜：波长光电是国内唯一实现DUV光刻机投影物镜量产的企业，其分辨率110nm的物镜已经成功应用在上海微电子的生产线之中，同时，EUV级物镜顺利进入中试阶段。
光刻机光学检测解决方案：波长光电是国内唯一可为光刻机提供全套光学检测解决方案的企业，其平行光源系统支撑65nm以下制程，光束匀化精度更是达99.8%。
DUV光刻机照明系统：波长光电是国产DUV光刻机照明系统唯一量产企业，其大孔径镜头技术打破了日系企业的垄断地位，产品毛利率可做到55%以上。