- 茂莱光学是**国内唯一能为光刻机客户量产供应照明/物镜系统中成套元器件的企业**，其产品覆盖光刻机的照明系统、投影物镜及工件台位移测量系统的棱镜组件，这些是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块[1]。
- 公司为**i线光刻机**批量交付全部镜头模组，单机价值量达300万至500万元；在浸没式DUV光刻机中，其物镜系统单机价值量可提升至5000万元，技术突破后价值量增长十倍[1]。
- 在EUV光刻机领域，茂莱光学成功研发了满足高精度要求的半导体透镜，并进入上海微电子供应链，实现了部分国产替代[6]。