中国正在与 ASML 竞争。激光诱导放电等离子体(LDP) EUV产生商业化的推动是我所担心的光刻技术的“深度探索”时刻。

LDP 比 ASML使用的激光等离子体(LPP)效率高得多。LDP将少量的锡汽化成两个电极之间的云，然后使用高电压将锡蒸气转化为等离子体。电子与锡离子碰撞产生13.5nm EUV 光。 LPP 需要高能激光和复杂的FPGA实时控制电路。

LDP 方法更简单、更小、更具成本效益和更好的能效。

随附 LDP 生成方法与LPP 的比较。

【山证电子通信]近期观点

茂莱光学:一定要重视，这轮后道先进封装gkj龙头主线。

英诺激光:gkj非常强悍的标的，光源核心部件。