OCS 上游核心受益环节集中在核心零部件领域，这些企业凭借高壁垒技术卡位关键供应链

微导纳米是半导体、泛半导体领域的高端微纳装备制造商，核心产品基于 ALD（原子层沉积）、CVD（化学气相沉积）技术，其上游主要是各类设备生产所需的核心零部件与专用原材料供应商，覆盖电源系统、真空系统、石墨石英等多个关键环节

这类原材料多为设备运行中的核心耗材或基础材料，对纯度、耐高温性等指标要求极高。像石英股份可提供半导体级石英相关制品，其供应的石英砂、石英管等，可用于微导纳米设备中的反应腔体或耗材部件，该企业还通过了多家国际设备商认证，产品质量契合半导体设备标准；此外，欧晶科技、盾源聚芯等国内厂商生产的石英坩埚，以及迈图科技等海外厂商的高端石英制品，也可能通过供应链适配其生产需求。而石墨相关部件方面，国内的方大炭素等企业生产的高纯度石墨材料，可用于设备中的加热部件或承载部件，适配高温工艺场景。

微导纳米688147，OCS上游核心受益