万业企业(SH600641)
根据万业企业最新财报披露，2023至今其控股嘉芯半导体新增订单超1.3亿元，成立后累计获取订单金额超4.7亿元，在手订单稳定兑现。目前，嘉芯半导体旗下拥有子公司嘉芯迦能、嘉芯闳扬和新产品研发部等，已形成多个半导体前道核心设备产品线，覆盖刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等多类主制程设备以及尾气处理等支撑制程设备，为汽车芯片、功率芯片、逻辑芯片等集成电路晶圆制造厂提供成套的前道设备解决方案。
嘉芯迦能自主研发的PHOEBUS PVD系统是一种全自动集群式PVD（物理气相沉积）、容纳多个沉积室的系统。