国泰海通证券股份有限公司关于北京屹唐半导体科技股份有限公司使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金的核查意见

国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为北京屹唐半导体科技股份有限公司（以下简称“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市及持续督导阶段的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规、规范性文件的规定，对公司使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）及已支付发行费用的自筹资金的事项进行了审慎核查，具体情况如下：

一、募集资金基本情况

根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意北京屹唐半导体科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2025]467号），并经上海证券交易所同意，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票（以下简称“本次发行”）295,560,000股，每股发行价格为人民币8.45元，募集资金总额2,497,482,000.00元，扣除发行费用154,614,665.06元（不含增值税）后，募集资金净额为2,342,867,334.94元，以上募集资金已经毕马威华振会计师事务所（特殊普通合伙）于2025年7月3日出具的《北京屹唐半导体科技股份有限公司验资报告》（毕马威华振验字第2500465号）审验确认。

上述募集资金已经全部存放于募集资金专户管理。公司已与保荐机构、存放募集资金的商业银行签订了《募集资金专项账户三方监管协议》。

二、募集资金投资项目情况

公司首次公开发行股票募集资金净额为2,342,867,334.94元，低于《北京屹

唐半导体科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》中披露的拟投入募集资金金额。公司根据实际募集资金情况对募投项目拟投入募集资金金额进行适当调整。经调整后，公司首次公开发行股票的募投项目及募集资金使用计划如下：

单位：人民币 万元

三、自筹资金预先投入募投项目及已支付发行费用情况及置换安排

（一）以自筹资金预先投入募投项目情况及置换安排

公司于2021年5月24日召开2021年第三次临时股东大会，审议通过《关于北京屹唐半导体科技股份有限公司首次公开发行股票募集资金投资项目的议案》，为顺利推进公司募投项目建设，本次募集资金到位前，公司根据项目进度的实际情况，利用自筹资金对募投项目进行了先行投入。屹唐半导体集成电路装备研发制造服务中心项目已于2023年9月建成投产。近年来公司持续加大研发投入，研发项目主要围绕募投项目展开，成功研发了多款技术领先的新型集成电路设备，其中部分设备已经过客户验证并获得重复订单。截至2025年7月10日，公司以自筹资金预先投入募投项目的实际投资金额为2,042,867,334.94元，本次拟使用募集资金置换预先投入募投项目的自筹资金金额为2,042,867,334.94元。具体情况如下：

单位：人民币 元

（二）以自筹资金预先支付发行费用情况及置换安排

本次募集资金各项发行费用合计154,614,665.06元（不含增值税），截至2025年7月10日，公司已用自筹资金预先支付发行费用金额为54,689,162.54元（不含增值税），本次拟置换金额为54,689,162.54元。具体情况如下：

单位：人民币 元

综上，公司计划使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金总额为2,097,556,497.48元。毕马威华振会计师事务所（特殊普通合伙）已对上述以自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用的情况进行了鉴证，并出具了《关于北京屹唐半导体科技股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告的鉴证报告》（毕马威华振专字第2504315号）。

四、公司履行的审议程序

公司于2025年7月25日召开第二届董事会第十九次会议和第二届监事会第十三次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金2,097,556,497.48

元置换预先投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金。本次募集资金置换时间距离募集资金到账时间未超过6个月，相关审批程序符合《上市公司募集资金监管规则》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规的相关规定。公司本次募集资金置换行为不存在与募投项目的实施计划相抵触的情形，不影响募集资金投资计划的正常进行，也不存在变相改变募集资金用途、损害股东利益的情形。本议案相关事项在董事会审议权限范围内，无需提交公司股东会审议。

五、相关专项意见

（一）监事会意见

公司监事会认为：本次募集资金置换时间距离募集资金到账时间未超过6个月，内容及审议程序符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规、规范性文件及公司募集资金管理制度的有关规定。本次募集资金置换事项不影响募集资金投资项目的正常进行，不存在改变或变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形。综上，公司监事会同意公司使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金的事项。

（二）会计师事务所意见

毕马威华振会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《关于北京屹唐半导体科技股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告的鉴证报告》（毕马威华振专字第2504315号），认为：公司编制的《北京屹唐半导体科技股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用情况报告》在所有重大方面已经按照中国证券监督管理委员会发布的《上市公司募集资金监管规则》（〔2025〕10号）和上海证券交易所发布的《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》（2025年5月修订）及《上海证券交易所科创板股票上市规则》（2025年4月修订）的有关规定编制，并在所有重大方面如实反映了屹唐股份截至2025年7月10日止以自筹资金预先投入募集资金投资项目及支付发行费用的情况。

六、保荐机构核查意见

经核查，保荐机构认为：公司本次使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金的事项已经公司第二届董事会第十九次会议及第二届监事会第十三次会议审议通过，毕马威华振会计师事务所（特殊普通合伙）出具了专项的鉴证报告，履行了必要的程序，且置换时间距募集资金到账时间未超过6个月，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规、规范性文件及公司募集资金管理制度的要求。公司本次募集资金置换行为不存在改变或变相改变募集资金用途的情形，不影响募投项目的正常进行，不存在损害公司和股东利益的情形。保荐机构对公司本次使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金的事项无异议。（以下无正文）

（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于北京屹唐半导体科技股份有限公司使用募集资金置换预先投入募集资金投资项目及已支付发行费用的自筹资金的核查意见》之签章页）

保荐代表人：

国泰海通证券股份有限公司

2025年 7 月 日