国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自
筹资金的核查意见
国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”或“公司”）2024年度向特定对象发行A股股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对中科飞测使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金事项进行了审慎核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会于2025年8月4日出具的《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕1640号），公司2024年度向特定对象发行A股股票28,571,428股，发行价格87.50元/股，募集资金总额为人民币250,000.00万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币1,923.26万元后，实际募集资金净额为人民币248,076.74万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。
为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
二、募集资金投资项目情况根据《深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票证券募集说明书（注册稿）》及实际募集资金净额情况，本次发行的募集资金扣除发行费用后，将用于投入以下项目：
单位：万元
| 序号 | 项目名称 | 项目投资总额 | 调整前拟使用募集资金投资金额 | 调整后拟使用募集资金投资金额 | |
| 1 | 上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目 | 上海高端半导体质量控制设备产业化项目 | 84,572.98 | 73,400.00 | 71,476.74 |
| 2 | 上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 | 63,516.33 | 44,600.00 | 44,600.00 | |
| 3 | 总部基地及研发中心升级建设项目 | 67,097.43 | 62,000.00 | 62,000.00 | |
| 4 | 补充流动资金 | 70,000.00 | 70,000.00 | 70,000.00 | |
| 合计 | 285,186.74 | 250,000.00 | 248,076.74 | ||
注：关于调整后拟使用募集资金投资金额的相关内容详见公司于2025年10月31日披露在上海证券交易所网站的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》
三、自筹资金预先投入募投项目及支付发行费用情况
（一）预先投入募投项目的情况为保障本次募投项目的顺利推进，公司在募集资金到位前，根据募投项目的实际进展情况使用自筹资金对募投项目进行了预先投入。截至2025年10月18日止，公司以自筹资金预先投入募投项目的实际投资额为人民币16,597.69万元，本次拟置换金额为16,597.69万元。具体情况如下：
单位：万元
| 序号 | 项目名称 | 项目投资总额 | 调整后拟使用募集资金金额 | 自筹资金预先投入金额 | 拟置换金额 | |
| 1 | 上海高端半导体质量控制设备研发测 | 上海高端半导体质量控制设备产业化项目 | 84,572.98 | 71,476.74 | 7,786.93 | 7,786.93 |
| 序号 | 项目名称 | 项目投资总额 | 调整后拟使用募集资金金额 | 自筹资金预先投入金额 | 拟置换金额 | |
| 2 | 试及产业化项目 | 上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 | 63,516.33 | 44,600.00 | 4,517.51 | 4,517.51 |
| 3 | 总部基地及研发中心升级建设项目 | 67,097.43 | 62,000.00 | 4,293.24 | 4,293.24 | |
| 4 | 补充流动资金 | 70,000.00 | 70,000.00 | - | - | |
| 合计 | 285,186.74 | 248,076.74 | 16,597.69 | 16,597.69 | ||
（二）自筹资金预先支付发行费用的情况公司本次募集资金各项发行费用合计人民币1,923.26万元（不含税）。截至2025年
月
日止，公司已使用自筹资金支付发行费用
126.51万元（不含税），本次拟用募集资金一并置换，具体情况如下：
单位：万元
| 序号 | 费用类别 | 发行费用总额（不含税） | 自筹资金支付（不含税） | 拟置换金额 |
| 1 | 保荐及承销费 | 1,650.00 | - | - |
| 2 | 审计及验资费用 | 100.00 | 20.00 | 20.00 |
| 3 | 律师费用 | 77.87 | 77.87 | 77.87 |
| 4 | 与本次发行相关的信息披露费 | 4.72 | - | - |
| 5 | 与本次发行相关的手续费及其他 | 90.67 | 28.64 | 28.64 |
| 合计 | 1,923.26 | 126.51 | 126.51 | |
四、履行的审议程序
公司于2025年
月
日分别召开了第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的议案》，公司董事会、监事会对上述事项发表了同意意见。上述事项无需提交公司股东大会审议。本次募集资金置换时间距募集资金到账日未超过
个月，符合相关法律法规的要求。
五、保荐人核查意见
经核查，保荐人认为：
公司使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金，已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序，本次募集资金置换的时间距募集资金到账时间未超过6个月，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律、法规规定，不会影响公司募集资金投资项目的正常实施，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。
保荐人对公司使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金事项无异议。
（以下无正文）
（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司使用募集资金置换预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金的核查意见》之签章页）
保荐代表人：
田方军谢欣灵
国泰海通证券股份有限公司
年月日