国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司变更部分募集资金用途的核查意见
国泰海通证券股份有限公司（以下简称“国泰海通”或“保荐人”）作为深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”或“公司”）2024年度向特定对象发行A股股票的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对中科飞测变更部分募集资金用途事项进行了审慎核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会于2025年8月4日出具的《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕1640号），公司2024年度向特定对象发行A股股票28,571,428股，发行价格87.50元/股，募集资金总额为人民币250,000.00万元，扣除各项发行费用（不含增值税）人民币1,923.26万元后，实际募集资金净额为人民币248,076.74万元。上述募集资金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验，并出具容诚验字[2025]518Z0128号《验资报告》。
为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》《募集资金专户存储四方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。
二、募集资金投资项目及使用情况
（一）募集资金投资项目情况
根据《深圳中科飞测科技股份有限公司向特定对象发行股票证券募集说明书（注册稿）》及实际募集资金净额情况，本次发行的募集资金扣除发行费用后，将用于投入以下项目：
单位：万元
| 序号 | 项目名称 | 项目投资总额 | 调整前拟使用募集资金投资金额 | 调整后拟使用募集资金投资金额 | |
| 1 | 上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目 | 上海高端半导体质量控制设备产业化项目 | 84,572.98 | 73,400.00 | 71,476.74 |
| 2 | 上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 | 63,516.33 | 44,600.00 | 44,600.00 | |
| 3 | 总部基地及研发中心升级建设项目 | 67,097.43 | 62,000.00 | 62,000.00 | |
| 4 | 补充流动资金 | 70,000.00 | 70,000.00 | 70,000.00 | |
| 合计 | 285,186.74 | 250,000.00 | 248,076.74 | ||
注：关于调整后拟使用募集资金投资金额的相关内容详见公司于2025年10月31日披露在上海证券交易所网站的《深圳中科飞测科技股份有限公司关于调整募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》
（二）募集资金使用情况
截至2025年10月31日，公司募集资金使用情况如下：
单位：万元
| 序号 | 项目名称 | 调整后拟使用募集资金投资金额 | 已使用募集资金金额 | |
| 1 | 上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目 | 上海高端半导体质量控制设备产业化项目 | 71,476.74 | - |
| 2 | 上海高端半导体质量控制设备研发测试中心项目 | 44,600.00 | - | |
| 3 | 总部基地及研发中心升级建设项目 | 62,000.00 | 766.23 | |
| 4 | 补充流动资金 | 70,000.00 | 1,216.64 | |
| 合计 | 248,076.74 | 1,982.88 | ||
注：已使用募集资金金额不包含预先投入募投项目及支付发行费用的自筹资金
三、本次变更部分募集资金用途的情况
（一）变更部分募集资金用途的原因
在保证募集资金正常进行的前提下，为提高募集资金的使用效率，改善公司资本结构，降低财务成本，根据《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规以及《公司章程》《深圳中科飞测科技股份有限公司募集资金管理和使用办法》的有关规定，公司拟将原募投项目“补充流动资金”变更为“补充流动资金及偿还银行贷款”。
（二）募集补流资金变更后的用途
公司拟将原募投项目“补充流动资金”部分募集资金29,996.40万元用于偿还银行贷款的具体情况如下：
| 借款人 | 银行 | 借款余额（万元） | 借款开始日 | 借款用途 | 拟使用募集资金还款金额（万元） |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国进出口银行深圳分行 | 940.00 | 2024/6/27 | 日常经营周转 | 940.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国进出口银行深圳分行 | 1,960.00 | 2024/11/21 | 日常经营周转 | 1,960.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国进出口银行深圳分行 | 9,950.00 | 2025/3/25 | 日常经营周转 | 5,000.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国工商银行股份有限公司深圳龙华支行 | 950.40 | 2024/11/27 | 日常经营周转 | 910.80 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国工商银行股份有限公司深圳龙华支行 | 1,056.00 | 2024/12/9 | 日常经营周转 | 1,012.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国工商银行股份有限公司深圳龙华支行 | 2,793.60 | 2024/12/20 | 日常经营周转 | 2,677.20 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 上海银行股份有限公司深圳分行 | 2,231.00 | 2025/5/14 | 日常经营周转 | 2,162.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 平安银行股份有限公司深圳分行 | 2,000.00 | 2025/5/29 | 日常经营周转 | 1,900.00 |
| 深圳中科飞测科技股份 | 中国银行股份有限公司深圳布吉 | 994.70 | 2024/12/31 | 日常经营周转 | 974.40 |
| 借款人 | 银行 | 借款余额（万元） | 借款开始日 | 借款用途 | 拟使用募集资金还款金额（万元） |
| 有限公司 | 支行 | ||||
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国银行股份有限公司深圳布吉支行 | 1,960.00 | 2025/2/27 | 日常经营周转 | 1,960.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 中国银行股份有限公司深圳布吉支行 | 5,880.00 | 2025/4/24 | 日常经营周转 | 4,000.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 宁波银行股份有限公司深圳分行 | 5,131.64 | 2025/9/3 | 日常经营周转 | 2,000.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 光大银行股份有限公司深圳分行 | 7,000.00 | 2025/6/19 | 日常经营周转 | 3,000.00 |
| 深圳中科飞测科技股份有限公司 | 招商银行股份有限公司深圳分行 | 5,000.00 | 2025/5/7 | 日常经营周转 | 1,500.00 |
| 合计 | 29,996.40 | ||||
注：上述借款余额系截至2025年10月31日余额
若前述银行的还款政策发生变化，公司拟在29,996.40万元额度内归还其他银行贷款。
四、本次变更募集资金用途对公司的影响
本次变更募集资金用途是结合市场环境变化、募投项目具体实施情况及公司生产经营需求等实际情况作出审慎决策和合理调整，有利于提升募集资金使用效率，优化资金和资源配置，降低财务成本，进一步提高公司抗风险能力，不会对公司当前和未来生产经营产生重大不利影响，不存在损害公司及股东利益的情形。
五、履行的审议程序
公司于2025年12月3日分别召开第二届董事会第十八次会议和第二届监事会第十六次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金用途的议案》。该议案尚须提交公司股东大会审议。
六、保荐人核查意见
经核查，保荐人认为：
公司变更部分募集资金用途，已经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序，有利于提高募集资金的使用效率，符合公司实际发展需要，不影响前期保荐意见的合理性，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律、法规规定，不会影响公司募集资金投资项目的正常实施，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。
保荐人对公司变更部分募集资金用途事项无异议。（以下无正文）
（本页无正文，为《国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司变更部分募集资金用途的核查意见》之签章页）
保荐代表人：
田方军谢欣灵
国泰海通证券股份有限公司
年月日